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連載紹介

知って得する干渉計測定技術!

2009年のスタートから最も多く配信されている連載です。
トロペル社の干渉計測定技術を軸に、SOLの技術員達が測定や光学の専門知識を解説します。

  • 専門
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三次元測定機って何なの?

そもそも三次元測定機って?初めて触れるかたにわかりやすく解説。
最近では番外編の英語コラムが仕事で役立つと好評!?

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  • ベアト
  • トロペル

ベアト三次元測定の世界!

2011年6月~2015年2月まで連載。現在完結しています。
こちらも営業視点の入門編。

  • 入門
  • ベアト

X線CTで高精度寸法測定!?

トップエンジニアによる、最も高度で専門的な連載。毎回数式を用いて解説します。
技術の根本まで追求することがSOLの技術力の源です。

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測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!

営業視点で最新情報をお伝え。
WEBサイトの更新情報、さらに解説も追加していち早くお届けします。

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  • トロペル

記事一覧

知って得する干渉計測定技術!

001. 最小二乗平面の求め方 -- T.T 002. 最大測定可能ソリ量 -- T.T 003. 縞感度の概要と式の導出 -- T.T 004. 空間コヒーレンス調整による二次フリンジ除去 -- T.T 005. ハーモニック解析と加速度解析 -- T.T 006. 新製品FlatMaster MSP150のご紹介 -- S.K 007. MSP150のフリンジスキャン -- MS.N 008. Legendre多項式とフォトマスク -- T.T 009. FFT解析による二次フリンジ分離 -- T.T 010. 焦点深度の式の導出 -- T.T
011. 加工表面に現れる「表面うねり」 -- T.S 012. 平面度測定機UltraFlatのUncertainty計算解説 -- T.T 013. 温度と平面度 -- T.S 014. 表面形状の微分 -- T.T 015. HPリニューアルとPolishCheckのご紹介 -- T.S 016. 測定とフィルタ -- T.T 017. TTVの測定方法 -- T.S 018. フィルタの種類と特徴 -- T.T 019. エスオーエルから「厚み測定」方法の新しいご提案 -- T.S 020. 平面度測定機と相関の課題 -- T.T
021. 工程管理は上流から -- T.S 022. ガラスディスクや透明基板の製造工数削減 -- T.S 023. 材料力学(vol.001):保持方法による変形とフックの法則 -- T.T 024. 干渉計のスループット -- T.S 025. 材料力学(vol.002):保持方法による変形と曲げ応力 -- T.T 026. 干渉計で厚み測定 -- T.S 027. 材料力学(vol.003):保持方法による変形とてこの原理 -- T.T 028. 二次フリンジで裏面も測定 -- T.S 029. 材料力学(vol.004):保持方法による変形とたわみ曲線 -- T.T 030. 粗い面の平面度測定 -- T.S
031. 材料力学(vol.005):保持方法による変形と自重たわみの見積り -- T.T 032. 入射角度と波面 -- T.S 033. 斜入射式 平面度測定機のフリンジスキャン -- T.S 034. 真空チャックの吸着力 -- F.N 035. レアアースと平面度管理 -- F.N 036. ウェーハチャックと摩耗 -- F.N 037. 倍率と開口数の関係 -- T.T 038. 炭化ケイ素(SiC)の測定 -- F.N 039. ナガセインテグレックスのラップレス技術 -- F.N 040. 空間コヒーレンスとコントラスト -- T.T
041. ウェーハ外周のダレ -- F.N 042. 差分解析とストレス解析のご紹介 -- F.N 043. ねじの締め付け力 -- T.T 044. 平面度測定機FlatMasterのズーム機能 -- F.N 045. 球面の結像公式 -- T.T 046. 2次フリンジの消し方 -- F.N 047. フレネルの式と反射率 -- T.T 048. サイト解析について -- F.N 049. MSPの位相差解析と周波数解析 -- F.N 050. フリンジスキャンの位相差と光強度 -- T.T
051. MSPによる平行度、高さ(深さ)測定 -- F.N 052. FlatMasterによる非吸着全面解析について -- F.N 053. FlatMasterの知られざる機能 Microwavinessの世界 -- F.N 054. 空気の揺らぎの測定への影響 -- F.N 055. FlatMasterのマルチ測定 -- F.N 056. FlatMasterの測定項目および再解析に関して -- F.N 057. 1つのワークに複数面測定したい箇所があっても大丈夫! -- F.N 058. Uncertaintyの使い方 -- T.T 059. ステッチング測定について -- F.N 060. FFT解析による二次フリンジ分離 リベンジ -- T.T
061. 測定誤差の原因について -- F.N 062. 自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort -- F.N 063. フォトマスクの微細加工および平坦度について -- F.N 064. PID制御について -- F.N 065. Particle Detection機能について -- F.N 066. ウェーハ厚みと膜ストレスによる反り関係と縞感度について -- F.N 067. 粗さ測定の測定項目について -- F.N 068. FlatMasterのき・ほ・ん -- F.N 069. FlatMasterでの平行度測定! -- F.N 070. FlatMasterでの大きな反りの測定! -- F.N
071. 露光技術の歴史 -- F.N 072. 水準器について -- F.N 073. 図面について -- F.N 074. ウェーハ反りの自重における変形について -- F.N 075. 測定の不確かさ -- F.N 076. 干渉計の種類 -- F.N 077. 干渉の条件 -- F.N 078. 干渉の条件 番外編①~空間コヒーレンス~ -- F.N 079. 干渉の条件 番外編②~時間コヒーレンス~ -- F.N 080. 進化し続けるTomoScope -- F.N
081. 表面粗さ測定の留意点 -- F.N 082. 収差ってなに? -- F.N 083. 収差ってなに?からのCFPってなんだ? -- F.N 084. SORIと曲率半径 -- F.N 085. 図面について(その2) -- F.N 086. メンテナンス~清掃の日々~ -- F.N 087. Microwaviness -- F.N 088. O-リング -- F.N 089. 測定誤差 -- F.N 090. FlatMaster SemiAutomated Wafer -- F.N
091. FlatMaster MSP-DL -- F.N 092. 同僚との出張~メンテナンス編~ -- F.N 093. FlatMaster Industial Wafer -- F.N 094. 光通信とニオブ酸リチウム -- F.N 095. 工業用と医療用X線 -- F.N 096. ごあいさつ -- F.N 097. 選手交代 -- MS.N 098. ウェーハの反り測定と保持方法 -- MS.N 099. ウェーハの反り測定と保持方法 続編 -- MS.N 100. ウェーハの反り測定と保持方法 続編その2 -- MS.N
101. フォトマスクの変形とパターン位置ずれ -- T.T 102. 次世代UltraFlatの概要 -- MS.N 103. Zernike多項式 -- T.T 104. 白色干渉計粗さ測定機FlatMaster Raについて -- MS.N 105. フリンジ ゼルニケ -- T.T 106. 干渉計の2つのSin -- E.N 107. 透明・半透明サンプルのTTV,Thickness測定方法について -- MS.N 108. 縞感度の調整 -- E.N 109. お久しぶりです -- F.N 110. 板の製図及び作製 -- F.N
111. ノイズのお話 -- F.N 112. 白色干渉とFlatMaster-Ra -- E.N 113. FlatMaster測定エリアの判定仕方 -- F.N 114. データの取得領域 -- F.N 115. MSPのダイナミックレンジと測定分解能 -- E.N 116. MSPでの透明品測定 -- F.N 117. Zernike多項式とRMS -- T.T 118. エックス線作業主任者 -- F.N 119. オーリングのお話 ver.2 -- F.N 120. FlatMaster-MSPの周波数感度 -- E.N
121. 粗さ測定機FM-Raと回折限界 -- F.N 122. FlatMaster基本機能の復習 -- F.N 123. ピクセルの平均化 -- F.N 124. 大きいサンプルを測定しよう! -- F.N 125. FlatMaster-MSPの測定精度 -- E.N 126. フリンジスキャンの3つの方式 -- E.N 127. ウェーハ面形状の測定項目とその背景 -- E.N 128. デシベルのお話 -- F.N 129. スネルの法則の導出 -- F.K 130. 回折の式と結像の基本 -- F.N
131. スネルの法則の導出-その2- -- F.K 132. レンズの収差について -- F.K 133. レンズの収差について -その2- -- F.K 134. FlatMaster用リファレンスフラットのご紹介 -- Y.0 135. 二光線の強度と干渉縞コントラスト -- T.T 136. レンズの収差について -その3- -- F.K 137. 対数の公式の話など -- T.T 138. ウェーハの反り測定について -- F.K 139. UltraFlat自動搬送機のPID制御 -- F.K 140. コリメータレンズについて -- F.K
141. FlatMasterの2種類のTTV測定 -- E.N 142. 白色光の干渉について -- E.N 143. ローカルスロープリミットの前提条件 -- T.T 144. FlatMasterのギャップについて -- E.N 145. 基本に戻ろうシリーズ:全面一括測定 -- F.N 146. アメリカでの戦いの記録 -- E.N

三次元測定機って何なの?

001. 三次元測定機って? -- A.T 002. 画像処理による非接触三次元測定 -- A.T 003. ファイバープローブ -- A.T 004. TomoScope -- A.T 005. 三次元測定機VideoCheckとその他取り扱い測定機 -- A.T 006. FlatMaster-MSPで三次元測定機のお悩み解決! -- A.T 007. ドイツWerth社の最新情報 -- A.T 008. 三次元測定機で厚み測定 -- A.T 009. 画像処理でLED測定 -- A.T 010. 解析法で公差のお悩み解決! -- A.T
011. 微細3D形状測定の新技術!! -- A.T 012. 最先端!!Werthの画像処理技術 -- A.T 013. Werth職人こだわりのファイバープローブ -- A.T 014. TomoScopeの測定データ~電池の内部測定 -- A.T 015. X線CT装置を選定するポイント -- A.T 016. X線CT装置の分解能 -- A.T 017. X線CT装置の新機能 -- A.T 018. TomoScopeの測定データ~ペットボトル容器の測定~ -- A.T 019. X線装置で金型製造時間を劇的短縮!! -- A.T 020. 測定領域と測定データ -- A.T
021. エスオーエルとは -- A.T 022. 営業訪問先の反応の変化 -- A.T 023. Tropel社の粗さ測定機でAFMとの相関取り -- A.T 024. CorningTropelセールスミーティング -- A.T 025. ライブデモ -- A.T 026. Werthセールスミーティング 2015 -- A.T 027. 番外編:英語の主語とbe動詞 -- A.T 028. 半導体関連学会からの情報 -- A.T 029. 寸法測定用CTを世界で初めて製造したWerth社のご紹介 -- A.T 030. 番外編:英語習得の体験談 -- A.T
031. X線CT装置TomoScope最新情報 -- A.T 032. X線のメカニズム -- A.T 033. 取り扱い製品概要とデモ機情報 -- A.T 034. X線CT装置 2016年の展望 -- A.T 035. TomoScopeのMPE_E -- A.T 036. 番外編:英語の時制・時制の一致 -- A.T 037. X線CTのコーンビーム -- A.T 038. Werthセールスミーティング2016 -- A.T 039. 計測に関する基礎知識「4対1理論」 -- A.T 040. 番外編:英語の不定詞と動名詞 -- A.T
041. SiC業界の気になる情報 -- A.T 042. 番外編:英語のanotherとthe other -- A.T 043. 自動ウェーハ測定機UltraSortⅡのご紹介 -- A.T 044. 番外編:英語で丁寧な依頼表現 -- A.T 045. X線CT装置TomoScopeデモ2号機導入 -- A.T 046. 番外編:英語の可算名詞・不可算名詞 -- A.T 047. TomoScope専用ホームページのご案内 -- A.T 048. 新TomoScopeデモ機設置とオプション機能のご紹介 -- A.T 049. 番外編:【英語】同じ様な意味の名詞 -- A.T 050. トロペル製品ラインナップ変更のお知らせ -- A.T
051. TomoScopeが得意な測定サンプル -- A.T 052. 番外編:【英語】簡単な動詞と前置詞を使った表現 -- A.T 053. 【トロペル】FMとMSPの得手不得手 -- A.T 054. 番外編:【英語】関係代名詞の使い方 -- A.T 055. tomoscope.comアクセスランキング -- A.T 056. Tropelセールスミーティング2017 -- A.T 057. 番外編:【英語】接続詞の使い方 -- A.T 058. Werth社製 マルチセンサー式三次元測定機 -- A.T 059. 2017年度の総括 -- A.T 060. ホームページリニューアルのお知らせ -- A.T
061. 2018年 Werthセールスミーティング -- A.T 062. 番外編:【英語】前置詞の基本イメージ -- A.T 063. X線CT装置 ボリュームデータの良し悪し -- A.T 064. TomoScope 精度3.5μm -- A.T 065. TomoScope XSデモ機導入のお知らせ -- A.T 066. Tropelソフト リニューアルのお知らせ -- A.T 067. X線CT装置と3Dスキャナーの違い -- A.T 068. ウェーハ用平面度測定機 ラインラップについて -- A.T

ベアト三次元測定の世界!

001. ベアト・ファイバー・プローブ 3D -- H.H 002. Werth三次元測定機のデザイン -- H.H 003. X線CT装置の条件出しとは -- H.H 004. X線と物質の関係 -- H.H 005. 精密樹脂製品の寸法測定 -- H.H 006. マイクロフォーカスX線とは -- H.H 007. WinWerthとは -- H.H 008. 新分野でのX線寸法測定 -- H.H 009. X線寸法測定機のポイント -- H.H 010. X線装置での測定事例(接触具合) -- H.H
011. 精密樹脂の測定事例 -- H.H 012. 高速測定 OnTheFly -- H.H 013. X線装置のディテクター -- H.H 014. X線とシンチレーター -- H.H 015. センサーの種類と誤差 -- H.H 016. Werth画像処理の秘密 (1) -- H.H 017. Werth画像処理の秘密 (2) -- H.H 018. Corning Tropel社の新機能開発「粗さ測定」 -- H.H 019. 営業は会社の顔 -- H.H 020. 製品の価値 -- H.H
021. 競合情報について & TomoScope使用目的 -- H.H 022. TomoScopeS-190kVで測定できる物 -- H.H 023. コミュニケーション -- H.H 024. X線寸法測定機の光源 -- H.H 025. TomoScopeの条件設定 -- H.H 026. TomoScopeS-190kVの条件設定 -- H.H 027. 幾何公差と寸法公差 -- H.H 028. ドイツとWerthとVideoCheck~ちょこっと幾何公差~ -- H.H 029. 複合品の測定(ボリュームセクション機能) -- H.H 030. 温故知新 -- H.H
031. 粗さ測定機のお問合せ例 -- H.H 032. 挑戦すること -- H.H 033. 樹脂の成型と測定 -- H.H 034. プラスチック成形ってすごい! -- H.H 035. 射出成型 -- H.H 036. いろいろなCT -- H.H 037. 心遣い -- H.H 038. X線ターゲットの種類 -- H.H 039. ロボットとの生活 -- H.H 040. 工作&測定体験 -- H.H
041. メーカーと代理店 -- H.H 042. TomoScopeの補正機能 -- H.H 043. モチベーションと成果 -- H.H 044. 2015年の展望 -- H.H 045. センサーと測定物 -- H.H

X線CTで高精度寸法測定!?

001. 新製品TomoScope -- T.T 002. TomoScopeの概要 -- T.T 003. CTスキャンとラドン変換 -- T.T 004. フーリエ変換による再構成 -- T.T 005. X線焦点サイズの影響 -- T.T 006. ドイツ展示会 CONTROL 2011 -- T.T 007. 品質管理と工程能力指数 -- T.T 008. 3D-CADによるパッチ選択解析 -- T.T 009. X線CTのみで寸法測定精度を保証するTomoScope -- T.T 010. TomoScopeと3D-CADとその周辺 -- T.T
011. 非接触センサーのスプラインスキャン -- T.T 012. 接触式センサーと非接触式センサー -- T.T 013. X線のおはなし -- T.T 014. TomoScope XL 450kV と透過力 -- T.T 015. 標準偏差をエクセルで計算すると・・・ -- T.T 016. X線のエネルギーと波長 -- T.T 017. X線の吸収と方程式 -- T.T 018. 光電効果によるX線の吸収 -- T.T 019. 基準スケールのたわみ -- T.T 020. 誤差の伝搬 -- T.T
021. 積分の計算をやってみよう -- T.T 022. TomoScopeの高速化 -- T.T 023. ローレンツ力を話題にしようと思うのですが。。 -- T.T 024. ベクトルとベクトル空間とベクトル場 -- T.T 025. 電子レンズのお話 -- T.T 026. 重力のお話 -- T.T 027. 球面収差について -- T.T 028. 最近よく使われる便利な機能 -- T.T 029. 幾何公差(vol.001):分類と種類 -- T.T 030. 幾何公差(vol.002):データム -- T.T
031. 幾何公差(vol.003):理論的に正確な寸法 -- T.T 032. 幾何公差(vol.004):最大実体公差 -- T.T 033. 幾何公差(vol.005):付加記号 -- T.T 034. 幾何公差(vol.006):ゼロ幾何公差 -- T.T 035. 積分変換 -- T.T 036. PID制御とラプラス変換 -- T.T 037. 楕円関数との遭遇 -- T.T 038. よく使う数学公式(2次方程式の解や三角関数) -- T.T 039. 楕円と楕円曲線 -- T.T 040. 内積の奥深さ -- T.T
041. 内積の定義とちょっとした計算 -- T.T 042. ルジャンドル多項式の作り方 -- T.T 043. 高速フーリエ変換(FFT)の原理 -- T.T 044. シュミットの直交化法 -- T.T 045. シンク関数とフーリエ変換 -- T.T 046. 振幅伝達率の計算 -- T.T 047. 関数の考え方と幾何公差 -- T.T 048. 対称性と群と測定機 -- T.T 049. 対称性と群とマクスウェル方程式 -- T.T 050. 対称性と群と2次元回転 -- T.T
051. 対称性と群と3次元回転 -- T.T 052. 3次元回転と極座標表示 -- T.T 053. 3次元回転と無限小回転 -- T.T 054. 無限小回転から有限回転へ -- T.T 055. 3次元回転と電子 -- T.T 056. 三次元測定機に搭載したX線CT -- T.T 057. 非球面レンズの式 -- T.T 058. Legendre多項式の出発点 -- T.T 059. STLで正20面体を作ってみました(前半) -- T.T 060. STLで正20面体を作ってみました(後半) -- T.T
061. キルヒホッフの法則 -- T.T 062. ボイル シャルルの法則 -- T.T 063. X線管内の平均自由行程 -- T.T 064. 三次元測定機の空間精度E測定 -- T.T 065. 空間精度測定とZ軸の影響 -- T.T 066. 平均自由工程の式の導出 -- T.T 067. ニュートンの冷却式 -- T.T 068. スカラー場、ベクトル場、テンソル場 -- T.T 069. スカラー場の微分はベクトル場 -- T.T 070. 投影切断定理とX線CT -- T.T
071. ボリュームフィルタの概要 -- T.T 072. ローラン展開をしてみましょう -- T.T 073. コーシー・リーマンの式 -- T.T 074. シンク関数を積分してみましょう -- T.T 075. 演算子(作用素)のはなし -- T.T 076. ナブラとラプラシアンのはなし -- T.T 077. X線CTの扱うデータ容量 -- T.T 078. ディストーションのお話 -- T.T 079. 次元のお話 -- T.T 080. 関数の考え方 -- T.T
081. 実数と完備化について -- T.T 082. 金属によるアーチファクトの原因 -- T.T 083. PythonとLispで再帰的プログラム -- T.T 084. 当社の技術員に求められる専門知識 -- T.T 085. ビット演算の奥深さ -- T.T 086. ダイオードに関する話 -- T.T 087. 微分方程式の思い出 -- T.T 088. 交流の瞬時値、最大値、平均値、実効値 -- T.T

測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!

001. FlatMasterのスゴさ! -- H.I 002. ウェーハ測定項目について -- H.I 003. FlatMasterの縞感度 -- H.I 004. 垂直入射方式とは -- H.I 005. Tropel社発・FM-Raとは! -- H.I 006. ソフトウェアWinWerthのご紹介 -- M.N 007. WinWerthで測定できる要素 -- AK.T 008. WinWerthのガウシアンフィッティング -- M.N 009. WinWerthにおける2直線間の距離の定義 -- AK.T 010. エスオーエルホームページ改訂 -- M.N
011. WinWerthの便利な機能 ~ループ測定~ -- AK.T 012. WinWerthで座標系の設定 -- M.N 013. X線CTで複合品の測定~体積測定も! -- AK.T 014. 解析用PCの導入 -- M.N 015. 膨大な測定を一瞬で!!WinWerthでの寸法測定 -- AK.T 016. TomoScopeの新機能とドイツの風景 -- M.N 017. CT画像処理に用いるFilter:Smoothing -- AK.T 018. 電子工作 -- M.N 019. 変数を用いたDMISプログラム作成(Werth) -- AK.T 020. 自己紹介と干渉縞について -- E.N
021. X線管の仕組み -- M.N 022. CTでの繊維解析について(Werth) -- AK.T 023. 再構成の計算方法(連立方程式による方法) -- M.N 024. 今年の展示会を振り返って -- E.N 025. 新年のご挨拶 2016 -- M.N 026. TomoScopeの便利な機能 -- M.N 027. TomoScope測定パラメータの設定 -- M.N 028. 三次元測定機の比較 -- M.N 029. 身の回りのX線CT技術 -- M.N 030. TomoScopeで利用可能なデータ形式 -- M.N
031. TomoScopeの新機能MSP-CTと体積測定 -- M.N 032. 3次元画面と2次元画面の使い方 -- M.N 033. X線を利用した装置 -- M.N 034. X線管内のお話 -- M.N 035. DAkkS認証とVDI/VDE -- M.S 036. 電圧と電力 -- M.N 037. TomoScopeの較正と補正 -- M.N 038. 2017年 新年のご挨拶 -- M.N 039. TomoScopeの新機能 Half revolution -- M.N 040. ベアト社とギーセンのご紹介 -- M.N
041. X線の強度 -- M.N 042. 楕円測定のおはなし -- F.N 043. Werth セールスミーティング 2017 -- M.S 044. WinWerth Volume Player と Volume 抽出 のおはなし -- F.N 045. 精度検証:ブロックゲージ測定 -- C.I 046. 高速スキャンオプション「OnTheFly」 -- M.S 047. 複合材測定例:コネクタ -- M.S 048. heimendo.com のご案内 -- M.S 049. 「X線」ってなんのこと? -- M.S 050. ボリュームデータ解析ソフトと産業用CTの展望 -- M.S
051. TomoScope XS測定動画公開 -- M.S 052. CTの選び方と質量吸収係数 -- M.S 053. 複合品データの材質分離作業 -- F.N 054. ウェーハ用平面度測定機の選び方 -- M.S 055. 英語の学習法 -- M.S 056. TomoScopeのおすすめオプション -- M.S 057. TomoScope XSとTomoScope Sの違い -- M.S 058. CTボリュームデータを軽くしたい -- F.N 059. PMIって何? -- M.S 060. CT測定条件の決め方 -- A.T
061. 三次元測定機とTomoScope -- M.S 062. X線管について -- M.S 063. X線CT寸法測定の精度保証 -- E.C 064. ROI局所CTについて -- F.N 065. 番外編:英語で形容詞をたくさん使うときはどうすればいいの? -- M.S 066. 寸法測定新時代の幕開け? -- M.S 067. JIMTOF2018レポート -- M.S

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