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用途別製品検索

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お客様の用途に合わせて製品の検索をすることができます。

測定サンプルの種類

ウェーハ用製品

シリコン(Si)

干渉計による非接触の平面度(平坦度)測定で実績のある装置をご提案いたします。

FlatMaster-Semi Auto Wafer

FlatMaster-
Semi Auto Wafer

スタンダードモデル。
TTVやSORIを高精度に測定します。

UltraSort II

UltraSort II

自動搬送付きモデル。
FA対応。

※最先端の 300mm ウェーハ用測定機  → お問合せ下さい。(NanoFlat 300)

お問い合わせはこちら

化合物(SiC、Lt、GaN、Ga2O3 など)

干渉計による非接触の平面度(平坦度)測定で実績のある装置をご提案いたします。

FlatMaster-Semi Auto Wafer

FlatMaster-
Semi Auto Wafer

スタンダードモデル。
TTVやSORIを高精度に測定します。

UltraSort II

UltraSort II

自動搬送付きモデル。
FA対応。

透明品(ガラス、水晶、サファイア など)

透明ウェーハでも、干渉計による平面度(平坦度)測定が可能です。

FlatMaster-Semi Auto Wafer

FlatMaster-
Semi Auto Wafer

マニュアルハンドリングモデル。

UltraSort II

UltraSort II

自動搬送付きモデル。
FA対応。

FlatMaster MSP-Glass

FlatMaster
MSP-Glass

平面度、厚みムラ、厚みを高精度に測定します。

フォトマスク

UltraFlat

UltraFlat

業界スタンダードとなっている超高平坦フォトマスク専用平面度測定機

プレート、フレーム

FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrial

~数十μmの平面度を全面一括測定します。

機械部品

平面のみ

FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrial

平面度(平坦度)や微小うねり測定も可能な干渉計です。

段差

FlatMaster MSP

FlatMaster MSP

これまで干渉計では困難だった段差のある面の測定(平面度、平行度、高さ)が可能
です。

内部

TomoScope

TomoScope

X線CTで内部形状も非破壊で取得。高精度な計測も可能です。

三次元寸法

カメラや接触/非接触プローブを組合せたマルチセンサ方式による座標測定機(三次元測定機)です。

VideoCheck

VideoCheck

エアーベアリング搭載の
上位機種

ScopeCheck

ScopeCheck

現場向けの高精度座標測定機

幾何公差

FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrial

高精度な平面度測定のみ

FlatMaster MSP

FlatMaster MSP

複数面がある製品で平面度と平行度を測定する場合

VideoCheck / ScopeCheck

VideoCheck
/ ScopeCheck

用途にあったプローブで幾何公差全般をカバーします。

TomoScope

TomoScope

X線CTで内部形状も非破壊で取得。

樹脂成型品

X線CT(コンピュータトモグラフィ)による内部計測が可能です。

TomoScope

TomoScope

3D-CAD を活用した効率化が世界のトレンドです。

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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