平面度測定機
Tropel（トロペル）社
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- 平面度測定機 Tropel（トロペル）社
短時間・全面一括で平面度を
高精度測定
米国Corning Tropel社はウェーハからフォトマスク、各種精密部品まで幅広い測定に対応する平面度測定機を提供しています。
平面度、平行度、高さ、厚みなどの全面一括測定を、最短10秒で行います。その他、Microwaviness (微小うねり)測定やNanotopography測定にも対応しています。
ウェーハ用平面度測定機 Flatness measuring machine for wafers
FlatMaster-Semi Auto Wafer
チャック交換不要のユニバーサルチャックを採用した標準機。
将来的に自動機へのアップグレードが可能です。
平面度
半自動機
斜入射干渉計
水平保持
ユニバーサルチャック
UltraSortⅡ
従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。
ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。
平面度
自動機
斜入射干渉計
水平保持
ユニバーサルチャック
