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測定事例

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ウェーハ Wafer

平面度:厚みムラ TTV

平面度:厚みムラ
TTV

平面度:サイト解析 LTV (測定数値)

平面度:サイト解析
LTV (測定数値)

平面度:サイト解析 LTV (合否判定)

平面度:サイト解析
LTV (合否判定)

平面度:非吸着 最小二乗平面基準 SORI

平面度:非吸着 最小二乗平面基準
SORI

 平面度:非吸着 三点基準平面 BOW、WARP

平面度:非吸着 三点基準平面
BOW、WARP

透明基板:TTV、LTIR、SORI

透明基板:
TTV、LTIR、SORI

パターン付き基板:NTV、断面スライス

パターン付き基板:
NTV、断面スライス

フォトマスク Photomask

平面度

平面度

機械部品 Machine parts

機械部品(金属リング)

機械部品(金属リング)

X線CT X-ray CT

X線CT測定事例の特設ページへ

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三次元測定 Three-dimensional measurement

WFP:歯車

WFP:歯車

事例:吸着測定(TTV)

事例:吸着測定(TTV)

事例:吸着測定(LTV①)

事例:吸着測定(LTV①)

事例:吸着測定(LTV②)

事例:吸着測定(LTV②)

事例:非吸着測定(SORI)

事例:非吸着測定(SORI)

事例:非吸着測定(BOW, WARP)

事例:非吸着測定(BOW, WARP)

事例:透明基板

事例:透明基板

研磨量分布・膜厚分布

研磨量分布・膜厚分布

FlatMaster MSP-WaferならZ(高さ)方向繰り返し精度で全面一括測定が出来る為、研磨量分布や膜厚分布の測定に有効です。例えば研磨量分布なら、研磨前と研磨後をそれぞれ測定し、全面の差分データを出力します。

研磨量分布測定データ

研磨量分布測定データ

事例:パターン付ウェーハ

事例:パターン付ウェーハ

加工痕(微小うねり)

加工痕(微小うねり)

「平面度」という大きな波長成分と、「粗さ」という小さな波長成分の中間に「微小うねり」があります。この微小うねり成分のみを取り出すことで、加工痕を測定し、研削などのプロセス改善にご利用頂けます。

微小うねり測定データ
(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)

微小うねり測定データ

同じウェーハのTTVデータ

同じウェーハのTTVデータ

どの波長成分を表示させるかによって得られるデータはこれほど変わります。

結晶欠陥の深さ

結晶欠陥の深さ

結晶が欠けている等の欠陥有無の確認に、FlatMaster-Raという粗さ測定機が使われています。
(使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm)

粗さデータ
(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さデータ

同じウェーハのTTVデータ

同じウェーハのTTVデータ

鏡面加工後に前工程で残ったキズの有無や、深さ等を測定するのに最適です。

粗さ(鏡面~粗面)

粗さ(鏡面~粗面)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。

粗さデータ
(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さデータ

同じウェーハのTTVデータ

同じウェーハのTTVデータ

どの波長成分を表示させるかによって得られるデータはこれほど変わります。

粗さ(Ltウェーハ裏面)

粗さ(Ltウェーハ裏面)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。
粗い面の測定も、鏡面同様にウェーハをセットしてから約30秒で測定出来ます。
(使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さ(Ltウェーハ表面)

粗さ(Ltウェーハ表面)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。
1nm以下の鏡面でも、問題無く測定出来ます。
(使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さ(パターン付きウェーハ)

粗さ(パターン付きウェーハ)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。
パターン面の構造解析、不良解析等にもお使い頂けます。
(使用レンズ = 10x, 測定視野 = 1.0 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

フォトマスク平面度

フォトマスク平面度

コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。

平面度データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面)

平面度データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面)

事例:機械部品(金属リング)

事例:機械部品(金属リング)

WFP:歯車

WFP:歯車

WFP(Werth Fiber Probe)を用いた歯車の測定例です。WFPは接触式ですが、接触圧がほぼ掛からない(~μNレベル)という特殊なプローブです。2Dと3Dの2種類があります(左図は3D)。

歯車測定データ

歯車測定データ

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