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UltraFlat

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製品情報 Product Information

UltraFlat フォトマスク用平面度測定機

UltraFlat

対応サイズ:6インチ(6025基板)

測定項目:

TIR、TTV、Taper、

Legendre解析、その他要相談

対象基板:
合成石英、EUV用基板

保持方法:垂直保持、エッジ接触

特徴

高感度な
Sensitivity

垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、Sensitivity 0.4μm/fringeを実現しました。
外部環境に強く、より高精度な測定が可能です。

世界最高水準の
保証精度

Uncertainty : 30nm(λ/40)、20nm(λ/100)

業界標準機

コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。

仕様

機種名 UltraFlat
測定原理 斜入射干渉計
光源 He-Neレーザー
縞感度 0.4μm/fringe(38°)
解析項目 SEMI規格に適合

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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