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製品一覧

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ベアト社ベアト社 -X線CT/三次元測定機-

トロペル社トロペル社 -平面度測定機-

ウェーハ用平面度測定機 Flatness measuring machine for wafers

FlatMaster-Semi Auto Wafer

FlatMaster-Semi Auto Wafer

チャック交換不要のユニバーサルチャックを採用した標準機。
将来的に自動機へのアップグレードが可能です。

平面度

半自動機

斜入射干渉計

水平保持

ユニバーサルチャック

UltraSortⅡ

UltraSortⅡ

従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。
ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。

平面度

自動機

斜入射干渉計

水平保持

ユニバーサルチャック

FlatMaster-Wafer

FlatMaster-Wafer

30秒で全面のデータを取得、測定精度0.1μm以下を保証します。垂直保持式のロングセラーモデルです。

平面度

手動機

斜入射干渉計

垂直保持

FlatMaster MSP-Wafer

FlatMaster MSP-Wafer

TTV、SORIの測定に加えて高精度な厚み測定も可能なモデル。
膜厚分布や研磨量を全面データで解析できます。

平面度

半自動機

斜入射干渉計

水平保持

ユニバーサルチャック

FlatMaster MSP-Glass

FlatMaster MSP-Glass

TTV、SORIの測定に加えて高精度な厚み測定も可能なモデル。
膜厚分布や研磨量を全面データで解析できます。

平面度

半自動機

斜入射干渉計

水平保持

機械部品用平面度測定機 Flatness measuring machine for machine parts

FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrial

ワークを置くだけで全面一括平面度測定。
簡単操作で開発から量産品の検査まで、幅広くお使いいただいています。

平面度

斜入射干渉計

FlatMaster MSP

FlatMaster MSP

平面度に加え、平行度や深さ(高さ)の測定が可能なモデル。
段差や奥まった面があるワークに有効です。

平面度

平行度

深さ(高さ)

垂直入射干渉計

その他 others

UltraFlat

UltraFlat

フォトマスク平面度測定の専用機。0.4μm/fringeの高感度な縞感度と6nmの高精度を実現した、業界標準機です。最先端技術のため、最新の情報は直接お問合せ下さい。

平面度(フォトマスク)

斜入射干渉計

寸法測定用X線CT装置 X-ray CT device for dimension measurement

TomoScope

TomoScope

内部の非破壊寸法測定に最適。幾何公差も全て対応。金属や複合材もOKです。

マルチセンサー式三次元測定機 Multi-sensor coordinate measuring machine

VideoCheck

VideoCheck

業界最高水準の精度を誇るマルチセンサー式三次元測定機です。
ベースとなる機種と搭載するプローブをお選びいただけます。

ScopeCheck

ScopeCheck

画像処理(カメラ)、レーザー、接触式プローブが搭載可能です。
生産現場で多く使われています。

センサー一覧

センサー一覧

ベアト社の装置(TomoScope、VideoCheck、ScopeCheck)は全てマルチセンサー式です。様々なプローブから最適なソリューションをご提案します。

WinWerth

WinWerth

ベアト社の装置(TomoScope、VideoCheck、ScopeCheck)全てに標準搭載されているオリジナルソフトです。測定から解析まで全て同じソフトで行うため、精度を保ったまま解析まで進めます。

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048-441-1133

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