
ウェーハ用平面度測定機

FlatMaster-Semi Auto Wafer
ウェーハ用平面度測定機(半自動機)
チャック交換不要のユニバーサルチャックを採用した標準機。
将来的に自動機へのアップグレードが可能です。
- 平面度
- 半自動機
- 斜入射干渉計
- 水平保持
- ユニバーサルチャック

UltraSortⅡ
ウェーハ用平面度測定機(自動機)
従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。
ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。
- 平面度
- 自動機
- 斜入射干渉計
- 水平保持
- ユニバーサルチャック

FlatMaster-Wafer
ウェーハ用平面度測定機(手動機、旧モデル)
30秒で全面のデータを取得、測定精度0.1μm以下を保証します。
垂直保持式のロングセラーモデルです。
- 平面度
- 手動機
- 斜入射干渉計
- 垂直保持

FlatMaster MSP-Wafer
高精度ウェーハ形状・厚み測定機
TTV、SORIの測定に加えて高精度な厚み測定も可能なモデル。
膜厚分布や研磨量を全面データで解析できます。
- 平面度
- 厚み
- 半自動機
- 垂直入射干渉計
- 水平保持
- ユニバーサルチャック
機械部品用平面度測定機

FlatMaster MSP
機械部品用平面度・平行度・高さ測定機
平面度に加え、平行度や深さ(高さ)の測定が可能なモデル。
段差や奥まった面があるワークに有効です。
- 平面度
- 平行度
- 深さ(高さ)
- 垂直入射干渉計
その他
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製品一覧
ベアト社製品
寸法測定用X線CT装置
マルチセンサー式三次元測定機
トロペル社製品
ウェーハ用平面度測定機
機械部品用平面度測定機
その他
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