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FlatMaster MSP

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製品情報 Product Information

FlatMaster MSP 機械部品用平面度・平行度・高さ測定機(手動機)

FlatMaster MSP

対応サイズ:~φ300mm

測定項目:

平面度、平行度、高さ(深さ)、表面うねり

対測定対象:

ガラスウェーハ、スクロールコンプレッサ、ベアリング、
金型、自動車部品、油圧部品 など

保持方法:水平保持(テグス)

特徴

平行度や段差も!

平行度や段差も!

平面度に加え、平行度や段差も測定できます。

精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

精度0.1μm以下!
NISTトレーサブル

繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。

透明品の測定に強み

透明品の測定に強み

ガラス、水晶、サファイアなどの透明基板で、TTVやSORIの測定ができます。

仕様

機種名 FlatMaster MSP40 FlatMaster MSP150 FlatMaster MSP300
測定原理 フィゾー式垂直入射干渉計
サンプルサイズ ~φ40mm ~φ150mm ~φ300mm
最大測定高さ 40mm 60mm 300mm
測定波長 830nmAlGaAs半導体レーザー
測定データ数 最大約78万点 最大約400万点
測定分解能 0.01μm
測定精度(Accuracy) 平面度 0.060μm
平行度 0.100μm
深さ 0.250μm
繰返し精度(Repeatability) 平面度 0.02μm
平行度 0.025μm
深さ 0.100μm
測定時間 サンプルセットから解析まで約60秒

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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