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FlatMaster MSP-Glass

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製品情報 Product Information

FlatMaster MSP-Glass ウェーハ用平面度・平行度・厚み測定機(手動機)

FlatMaster MSP-Glass

対応サイズ:~12”

測定項目:

吸着測定:TTV, LTV など

非吸着測定:SORI, BOW, WARP など

厚み、ストレス解析、表面うねりなど

対象ウェーハ:
透明基板
(ガラス、水晶、サファイアなど)

保持方法:基板水平保持

特徴

300mmウェーハに対応

300mmウェーハに対応

全面一括で最大400万点のデータから平面度の解析が可能。

精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

精度0.1μm以下!
NISTトレーサブル

繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。

厚みを高精度に測定

厚みを高精度に測定

表面と裏面の平面度測定に加え、基板の絶対厚みも測定が可能。

仕様

機種名 FlatMaster
MSP150-Glass
FlatMaster
MSP300-Glass
測定原理 垂直入射干渉計
ウェーハサイズ 2"~6" 2"~12"
測定波長 830nm AlGaAs半導体レーザー
測定データ数 最大約78万点 最大約400万点
測定分解能 0.01μm
測定精度(Accuracy) 平面度 0.060μm
平行度 0.100μm
深さ 0.250μm
繰返し精度(Repeatability) 平面度 0.020μm
平行度 0.025μm
深さ 0.100μm
測定時間 サンプルセットから解析まで約60秒

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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