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UltraSortⅡ

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製品情報 Product Information

UltraSortⅡ ウェーハ用平面度測定機(自動機)

UltraSortⅡ

オンライン化にも対応

対応サイズ:4”~8”

測定項目:

吸着測定:TTV, LTV など

非吸着測定:SORI, BOW, WARP など

厚み、ストレス解析、表面うねりなど

対象ウェーハ:
Si, サファイア, SiC, GaN, 酸化ガリウム, LT, LN,
GaAs, InP, 水晶, ガラス, セラミック など

保持方法:基板水平保持

特徴

スループット

スループット

1時間で最大150枚測定が可能。TTVもSORIも自動で連続測定。

精度0.1μm以下! NISTトレーサブル

精度0.1μm以下!
NISTトレーサブル

繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。

交換不要の ユニバーサルチャック採用

交換不要の
ユニバーサルチャック採用

チャックはユニバーサルチャックを採用しているため、ウェーハのサイズや吸着/非吸着を切替えても一つのチャックで測定が可能。

仕様

機種名 UltraSort200-Ⅱ
測定原理 斜入射干渉計
ウェーハサイズ 4"~8"
測定波長 635nm 半導体レーザー
縞感度 1.8~6.5μm/fringeの中で1つご指定
XRAオプション
(縞感度可変オプション)
1.8~6.5μm/fringeの中で3段階可変
測定データ数 最大約25万点
測定分解能 0.01μm
測定精度(Accuracy) 0.10μm以下
繰返し精度(Repeatability) 0.025μm(1σ)以下
スループット 吸着・非吸着 150枚/h
吸着・非吸着・厚み 120枚/h(オプション)
カセット数 標準は4個(オプションで8個、12個、16個が可能)
オンライン化 可(内容は要ご相談)
ロボットアーム 2本

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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