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FlatMasterとMSPの比較

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2機種の比較 Comparison

このページでは下記2機種を比較しています。平面度測定のみならFlatMaster-Industrialを、異なる面の平行度や高さも測定したいならFlatMaster MSPを選ぶのが一般的です。どちらか迷ったときはお気軽にお問合せ下さい。

平面度測定機 FlatMaster-Industrial

平面度測定機
FlatMaster-Industrial

平面度・平行度・高さ測定機 FlatMaster MSP

平面度・平行度・高さ測定機
FlatMaster MSP

特徴で比較 Features

機種名 FlatMaster-Industrial FlatMaster MSP
メリット

・斜入射なのでMSPに比べて粗面でもデータを取得しやすい。

・実績が豊富。

・平面度だけでなく、高さや平行度の測定が可能。
→周波数解析でピクセル毎の高さを認識している。

デメリット

・同一平面の平面度測定のみ可能。
→繋がっていない面は高さ方向の位置関係を
認識できない。

・FM-Iよりは操作やレシピ設定が複雑。

・レーザー交換の際、FM-Iより納期と費用がかかる。

仕様で比較 Specification

機種名 FlatMaster-Industrial FlatMaster MSP
測定項目 平面度測定機 平面度、平行度、高さ測定機
測定原理 斜入射干渉計 垂直入射干渉計
測定波長 670nm半導体レーザー(FM40)
635nm半導体レーザー(FM100、200)
830nm AlGaAs半導体レーザー
ラインナップ FM40-I、FM100-I、FM200-I FM MSP40、FM MSP150、FM MSP300
測定可能サンプルサイズ ~φ40mm、~φ100mm、~φ200mm ~φ40mm、~φ150mm、~φ300mm
データポイント 約25万点 約78万点(MSP 40、150)
約400万点(MSP300)
ズーム機能 〇(サンプルサイズに合わせてズーム) ×(倍率固定)
縞感度 1.8~4μm/fringe(FM40)または
1.8~8μm/fringe(FM100、200)
の中で1つ指定
0.4μm/fringe 固定
縞感度可変オプション
(XR、XRA)
XR:1.8~4μm/fringe(FM40)または
4~8μm/fringe(FM100、200)
の中で3段階
XRA:1.5~8μm/fringeの中で3段階
(FM100、200)
×
測定分解能 0.01μm 0.01μm
測定精度
(Accuracy)
平面度 0.1μm以下 0.06μm
平行度 - 0.1μm
高さ - 0.25μm
繰り返し精度
(Repeatability)
(1σ)
平面度 0.025μm以下 0.02μm
平行度 - 0.025μm
高さ - 0.1μm
測定時間 サンプルセットから解析まで約10秒 サンプルセットから解析まで約60秒

お問い合わせ Contact

048-441-1133

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