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測定データの1点目はどこか

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2024年3月6日号　VOL.206

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様初めまして。

去年の5月から営業技術部の一員として勤めております、
小松と申します。

この場をお借りしてみなさまに
ご挨拶申し上げます。

このメルマガに文章を載せるのも初めてのため、
少々自己紹介をいたします。

私は秋田の出身で、
寒さには慣れているものだと自分では思っておりました。

そのため、地元に比べたら埼玉で迎える冬は
暖かいものだろうと高をくくっていました。

しかし、多少南に来ようとも冬は冬、
質の違う寒さに凍えることになり、
防寒対策をおろそかにしたことを後悔しております。

最近は日によって寒暖の差が激しく、
体調管理には気を付けたいところです。
皆様も体調にはお気を付けください。


さて、本題に入ります。

今回扱うテーマは、
測定データの1点目はどこかについてです。

前提についてお話しますと、
平面度測定機 FlatMaster は
フィゾー式斜入射干渉計です。

参照平面であるプリズムで反射する光と
透過する光に波面分割された後、

透過する光が測定物の表面で反射し、
プリズムで反射する光と透過する光が
干渉することで干渉縞が発生します。

その干渉縞をフリンジスキャンで動かして、
一つのピクセルの明暗変化が
隣のピクセルとどのように異なっているかを
ソフトウェアで処理することで
平面度等の結果を出力することができます。


このとき、隣り合うピクセル同士で
位相を比較することがポイントです。

さて、比較というからには
特定の箇所に原点として1点目になるピクセルがあり、
そこから隣のピクセルを比較し、
更に隣のピクセルへと順々に連鎖する比較を
イメージされることがあります。

フリンジスキャン法という名前からも、
レーザーが始点から終点に向かって
位置を移動しながらスキャンしていくように
誤解されることがあります。


しかし、FlatMaster は
レーザーを測定面に対して一括照射することが
特長になっています。

つまり、測定面に対して、空間的に特定の1点目
というものがありません。

そのため、時間的には同時に
測定面の全ての点の情報を読み取ることになります。

それによって、
振動などによる外乱に強く、
高精度な測定が可能となります。


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F.K