測定原理

FlatMasterシリーズの干渉計の測定原理をご紹介します。

斜入射干渉計
（FlatMaster-Wafer、UltraSortほか） 垂直入射干渉計（FlatMaster MSP） 白色干渉計（FlatMaster Ra）

メールマガジン一覧

毎週水曜日に配信しているメールマガジンのバックナンバーです。
干渉計・三次元測定機・X線CT等、最新の測定技術に関する情報が満載です。

ウェーハ測定項目

トロペル社の平面度測定機で測定できるウェーハ測定項目について解説しています。SEMI規格に全て対応しています。

幾何公差

ベアト社の三次元測定機で測定できる幾何公差について解説しています。

ルジャンドル多項式

ルジャンドル多項式について解説しています。

ゼルニケ多項式

Zernike多項式について解説しています。