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ベアト社製品(X線CT/三次元測定機)関連記事 Werth

1高速スキャンオプション「OnTheFly」

測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ! vol. 046

まず大前提としてCTスキャンは時間がかかって然るべき技術です。内部形状や構造を含む3Dデータを構成するために、360度分、数百~数千のレントゲン写真を撮る必要があるからです。そこで、なんとか測定時間を短縮しようと様々な試みが行われてきました。TomoScopeではこれまでにどんな方法を使ってきたかご紹介します。まず1つ目が、スキャンと平行して再構成を行うというものです。多くのCTは360度分、全てのレントゲン写真の取得が終ってから、3Dデータへの再構成に入りますが、TomoScopeは撮れた分からどんどん再構成の計算を始めます。スキャン終了とほぼ同時に3Dデータが出てきます。しかし、この方法ではスキャン時間自体は短縮できません。

2DAkkS認証とVDI/VDE

測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ! vol. 035

普段、TomoScopeはDAkkS認証を受けた唯一のX線CT装置です!と声高らかにご説明していますが、その理由は少々複雑です。まず、X線CTでの測定は、まだISOが整備されていません。2020年の規格化を目指し、議論を進めているそうですが、各国の主張を取りまとめるのに難航しているようです。そこで、CTの世界を牽引しているドイツでは、ISOに先駆け、VDI/VDE(ドイツ技術者協会)で独自に規格化しています。それがVDI/VDE2630という規格です。サファイアの基準球や、MKDNという27本のピンの先端にルビー球がついているデバイスなどを使って評価します。

3精度検証:ブロックゲージ測定

測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ! vol. 045

私達営業は日頃から「TomoScopeは寸法測定精度4.5μmを保証しています!」とご紹介しています。しかしこの「4.5μm」、あくまで校正原器を測定したときの精度。寸法精度を重要視されるお客様からは、必ずこんなご質問をいただきます。Q.「じゃあ、実際の製品ではどのくらい精度が出るの?」A.「製品のサイズや素材や形状によって異なります」…というのは正直なところですが、これでは参考になりません。では何とか実際の製品で精度を検証できないか?それもちゃんと寸法がわかっているもので…そこで今回使用するのが、皆様おなじみのブロックゲージです。

4X線焦点サイズの影響

X線CTで高精度寸法測定!? vol. 005

一般にX線CTスキャンによる3次元像はボケます。その原因は、いくつも挙げられます。TomoScopeには、Werth社の60年にも及ぶ経験の中で蓄積された光学測定や画像処理のノウハウにより、他では真似できないレベルの鮮明な、しかも寸法測定可能な3次元像を得ることができます。それをご紹介するには、まずは何故、像がボケるのか説明する必要があります。今回はその一つとして、X線焦点サイズの影響による像のボケについて取り上げます。X線CTスキャンの際には、2次元のX線透過画像を何枚も撮像します。まず、分かり易く状況を設定します。

5X線の吸収と方程式

X線CTで高精度寸法測定!? vol. 017

TomoScopeのような X線CT装置は、X線が物質を通過する際に吸収されることを原理として使っています。今回は、このX線の吸収についてのお話です。物質を透過した後のX線の強度 I について式で書くと I = I0 exp(-μx) となります。ここで、I0 は物質を透過する前のX線の強度です。x は、物質の厚さです。μは、「吸収係数」または「減弱係数」と呼ばれるもので、物質の種類によって変わります。exp() は指数関数なので、x=0 のとき、exp(0) = 1 になります。つまり物質がないときはI = I0 となり、透過前後でX線の強度は変化しません。また、μ>0 では、厚さ x が大きくなれば、exp(-μx) は、どんどん小さくなっていきますので、透過後のX線強度 I が 透過前の I0 より弱くなることが分かります。

トロペル社製品(平面度/粗さ測定機)関連記事 Tropel

1最小二乗平面の求め方

知って得する干渉計測定技術! vol. 001

今回は、お問い合わせが比較的多く、平面度測定の基本にもなる、「最小二乗平面の求め方」について解説いたします。平面度と一言に言いましても、その測り方はいろいろ考えられます。測定対象面から得たデータから、如何にして平面度という指標を取り出すかを考えなければなりません。基準となる平面からどれだけズレているかを計算すればよいのですが、その基準平面をどう計算するかという問題が出てきます。干渉計から数十万ポイントものデータを得られるわけですから、できるだけ、その全データを反映させた良い基準平面を計算したいのです。そこで、選ばれるのが”最小二乗平面”です。

2最大測定可能ソリ量

知って得する干渉計測定技術! vol. 002

干渉計で表面形状を測定する際に、気になることとして、分解能、精度、ダイナミックレンジ 等が挙げられます。平面度測定において、実際に興味のあるダイナミックレンジとは、どこまで大きく反ったものが測定できるか、つまり最大測定可能ソリ量です。今回は、この最大測定可能ソリ量について考察することにします。まず、最大測定可能ソリ量を計算する上で欠かせないのが、ローカル スロープ リミット(LSL)です。これは、CCDカメラの1ピクセルに干渉縞が2本以上入り、高さ情報をサンプリングできなくなる条件です。LSL [um/mm] = (1/2) × Sensitivity [um/fr] ÷ 横分解能 [mm/pixel]で表されます。

3ウェーハ測定項目について

測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ! vol. 002

FlatMasterでは単に平面度という1項目を測るだけではなく、様々な測定項目に対応できます。今回はお客様からよく依頼される項目を紹介します。○全面吸着・グローバル解析【TIR】3点基準平面からの最高点と最低点までの距離の合計。【NTV】最小二乗平面からの最高点と最低点の距離の合計。【TTV】ウェーハ裏面からの最低点を最高点から差し引いた値。厚みムラ。・サイト解析【LTIR】サイト毎の表面基準面からサイト表面上の最高点と最低点までの距離の合計。【LTV】ウェーハ裏面から各サイト表面上の最高点と最低点までの高さの差。各サイト毎の厚みムラ。以上の5項目は、ウェーハの裏面を全面吸着させて測定した場合の項目になります。

42次フリンジの消し方

知って得する干渉計測定技術! vol. 046

例として、ガラス製品などの透明体のサンプルの表面の平面度を測定するとします。すると、表面と裏面の干渉縞である2次フリンジが現れます。この2次フリンジ、邪魔ですね。もし、2次フリンジが見えている状態で測定してしまったら、干渉縞が乱れ、装置がきちんとした平面度を計算出来なくなります。ではここで、2次フリンジはどうやったら消せるのか?を計算上で求めていきたいと思います。厚み6.35mmtのガラス基板(屈折率n=1.5)Gap=200um(サンプルとプリズムの間隔)縞感度: 1.5um/fringe (入射角度77.85度)の時

5ウェーハ厚みと膜ストレスによる反り関係と感度について

知って得する干渉計測定技術! vol. 066

ここに、厚みが500umtの基板と360umtの基板があるとします。成膜ストレスの計算式(※1)から、2つの基板の膜ストレスが同一の場合、ウェーハ厚みの差から、ウェーハの反りは 500^2 / 360^2 = 250000 / 126900 = 1.93 とウェーハの厚みが薄くなると約2倍大きくなります。もし、厚み500umtの基板の反りが約80umだとすると、サンプルの厚みを薄くし360umtにした場合、計算上ウェーハの反りは約160umとなります。ウェーハの反りが160umともなると縞感度を大きくする必要があります。縞感度が小さいと(S=1.5um/fr等)、基板の一部分に局所的な勾配がある場合、データ欠落を起こし正確な測定値が出力さません。

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