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平面度(平坦度)、平行度、高さ(厚み)の測定に特化し、高さの異なる複数面の平面度を一括測定できます。
斜入射方式により、全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。
非破壊で内部の寸法測定を行う、高精度なX線トモグラフィー三次元形状測定装置です。
サブミクロン領域の測定が可能な高精度三次元測定機です。
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