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2023.11.01

E-0149.半自動機・自動機用チャックについて— K.S

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半自動機・自動機用チャックについて

発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2023年11月1日号 VOL.149

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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こんにちは、営業の渋谷です。

最近日中は暖かく、朝晩はぐっと冷え込み
冬が近づいてきたなと感じております。
そろそろうちの冷え性ちゃん(犬)にも
もこもこのお洋服を着せてあげる頃が来たかと
わくわくしています。

洋服は嫌がるかなと思っていたのですが、
どうやらいつもより「かわいい」と言ってもらえる回数が
増えるからか喜んで着てくれます。
ただ、気に入らない洋服もあるようで、
その時にはむっとした顔をします。
どちらの表情もかわいいです。


さて、本題に移ります。

今回のメルマガでは
Tropel の FlatMaster-SemiAutoWafer (以下SAW) と
UltraSort-II (以下US) で採用されている
ユニバーサルチャックのメリットについて
お話しいたします。


1. チャックへのダメージが少ない

 まず最初に挙げるメリットとして、
 摩耗の影響を抑えることができる点です。
 ウェーハを乗せる時はチャック中央部のピンが上がり、
 その後ピンが下がることで
 チャックにウェーハを乗せることができます。


2. チャックの交換不要

 ユニバーサルチャックであれば
 吸着測定(TTV、LTV等)と非吸着測定(SORI、BOW、WARP)の
 両方を1つのチャックで測定することができます。

 そのためどちらの測定方法でも
 チャックを交換することなく連続で測定することができ
 かかる手間と時間を減らすことができます。


 以前のメルマガでもご紹介いたしましたので、
 そちらもお読みいただけますと幸いです。

 < https://www.sol-j.co.jp/mailmag/e-0132/ >


今週もお読みいただきありがとうございます。


--
K.S

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