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2023.02.22

E-0135.Werth装置の倍率変更機能 — E.C

 
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Werth装置の倍率変更機能

発行:エスオーエル株式会社
https://a13.hm-f.jp/cc.php?t=M368262&c=6090&d=eb6f

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2023年2月22日号 VOL.135

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆さん、こんにちは。
営業技術の張です。

最近は以前にも増して、
Werth社のマルチセンサ式三次元測定機を操作することが多くなり、
WerthZoom機能とWerthの画像処理機能の魅力を再び感じています。

そこで、今回のメルマガでは
Werth社装置の倍率変更機能について少し話します。


[1] WerthZoom

まず、Werth社画像処理三次元測定機の WerthZoom についてです。

この機能はWerth社三次元測定装置の特長の一つです。
コンピュータ数値制御(CNC)で、
倍率と作動距離を独立に変更できる特許技術です。

測定物の形状や高さ(深さ)にある種の制約があるとき、
この光学系でしか測定できないという状況が起こりえます。
そのため、実績もかなり多いです。

一般的な画像測定器や顕微鏡などは、
倍率と作動距離が従属関係にあり、
倍率を大きくすると、作動距離が小さくなります。

例えば、顕微鏡で高倍率を使う時、
測定対象にかなり近づく必要がある状況を思い出すことができます。

WerthZoom は、Zoom光学系内部の2組のレンズを
CNCで独立に平行移動することで、
倍率と作動距離を自在に調整することが可能です。

(一般的なズーム機構のようにレンズが回転することなく、収差にも有利。)

つまり、同じ倍率でも、作動距離は何パータンも選択可能です。
サンプルの測定箇所に合わせて使用すると、とても便利です。

例えば、測定サンプルが平面の場合、短い作動距離で測定し、
深い穴、高い段差があれば、長い作動距離で測定することができます。

WerthZoom の倍率は、0.68 ~ 6.8倍 (追加レンズで ~10倍)で、
作動距離は 20 ~ 220 mm の範囲内に設定可能です。


[2] CT倍率ステップレス変更機能

また、CT装置(TomoScopeシリーズ)にも、特徴的な倍率変更機能があります。

Werth社のCT装置は、マルチセンサ式三次元測定機の一つという位置付けです。
しかし、CTにおけるX線透過像投影とレンズ系による画像投影では、
倍率変更の原理が少し違います。
それでも、根本の光学的原理には共通点もあり、
CTの倍率変更においても、Werth社の得意な技術的工夫が盛り込まれています。

Werth社のCT装置で便利な倍率変更機能として、
CT倍率ステップレス変更機能があります。
言葉通りに、任意の倍率に変更することが可能になります。

一般的なCT装置の倍率は、
倍率毎に設定を登録し、各々キャリブレーションをする必要があります。

ステップレス変更機能があれば、
倍率設定の追加と個別のキャリブレーション操作の必要がなくなります。

サンプルの大きさに合わせて軸を移動するだけで、
望ましい倍率が使用可能になります。

この機能は、通常のCT装置の倍率調整方法とは異なり、
Werthの三次元測定機に搭載されている高度な補正機能を使う必要があります。

CT装置内部の全ての軸を「Werth 3D 補正」という
数学的には少々複雑な補正方法で補正する必要があります。
でも、コンピュータが全てやってくれるので、
使用者は何も難しいことはなく、簡単に使えるようになっています。

使用者は倍率を選択する必要すらなく、
視野を合わせるだけで、倍率に関する事柄はコンピュータ任せにできます。

ただ、X線の焦点位置を予め知っておく必要がある為、
最初に参照倍率のキャリブレーションが必要にはなりますが、
それ以外の倍率設定と個々のキャリブレーション操作は必要がなくなります。

また、全軸の3D補正により、球間距離精度は従来の ±(3.5+L/100)μm から
±(2.5+L/100)μm に改善されています。

但し、補正方法の関係で、後付け不可のオプション機能になります。
ご興味があれば、是非お問い合わせ下さい。


それでは、今日はこの辺で。
最後までお付き合い頂き、有難う御座いました。


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張

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