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2022.11.30

E-0132. ウェーハ用平面度測定機:手動機、半自動機の違い — M.O

 
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ウェーハ用平面度測定機:手動機、半自動機の違い

発行:エスオーエル株式会社
https://a13.hm-f.jp/cc.php?t=M349209&c=6090&d=eb6f

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2022年11月30日号 VOL.132

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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こんにちは、営業の太田です。


もう11月も終わります。明日から12月です。
2022年も、あっという間に終わり、もう2023年ですね。
1年が本当に早いです。  (と、毎年言っている気がします。)

まずはちょっとした雑談から。

先日都内を1人で歩いていると、外国人に声を掛けられ
英会話教室の勧誘だったのですが、ちょっと立ち話になり
他愛の無い会話をしました。

恐らく50~60代くらいの方だったと思うのですが
自分の将来の夢を語ってくれ、
「で、What's your dream?」と聞かれ、固まりました。

何となく、こうなったらいい、こんな事をしたい、とは考えますが
子供が出来てから自分の夢なんて真剣に考えたこと無いな~
と思いそう伝えると、「え!子供いるの!まだ学生だと思ってた!」
と、それはそれでびっくりな反応が返ってきて、

これはポジティブに受け取って良いのか、
ネガティブに受け取ったほうが良いのか、、、
と、色々と考えさせられることの多い、
印象的で刺激的な5分間でした。

2023年の目標は、自分の夢を見つけること!にしようかな、
と思っています。


さて、本題に入ります。

最近、FlatMaster-Wafer(手動機)をお使いの方から、
新台についてのお問合せをちょくちょくいただきます。

お問合せの背景としては、
測定枚数が増えたから、という会社様が1番多いように感じます。

測定枚数が増えた、
・だから1台では処理能力が足りない
・だからなるべく手間を省き、作業効率を上げたい

など、その中でもご要望が分かれます。

前者の場合、同じ使い方が出来る
今と同じ測定機(手動機)でご検討頂く場合が多いです。

後者の場合、機種も改めてご検討頂くことが多いです。

自動機程の設備はいらないけど、手動機の手間を省きたい
というまさにそのご要望にお答えできるのが、
FlatMaster-SemiAutoWafer(以下FM-SAW)です。


FM-SAWについては、メルマガでもよく登場するので
皆さんご存知かと思います。

が、最近メルマガをご登録された方、
ここまで読んで「え、同じような悩みあるんだけど!」と
思ってくださる方がきっといらっしゃる、
と期待してこの内容を書くことに決めました。


さて、
なぜ手動機での測定の手間を省きたい = FM-SAW(半自動機)
になるのか、
という事で、大きく分けて2つの違いをご紹介します。

1.ギャップ調整
 ギャップとは、プリズムとウェーハの隙間の事で、
 だいたいその隙間は250μm程度、とお伝えすることが多いです。
 それ以上遠すぎると、干渉縞が薄くなり、
 逆に近すぎると、接触の恐れがあります。

 手動機の場合、このギャップを手動で調整します。
 サンプルの厚みに応じて、PC画面の干渉縞を見ながら
 3個のマイクロメーターで、それぞれ傾きやギャップを調整します。

 私は技術メンバーが調整している所を隣でじっくり観察していますが
 未だに、どこをどのくらい調整していいか、どれくらいが適当なのか
 正直な所、よく分かっていません。お恥ずかしい話です。

 慣れ等もあるかもしれませんが、特に様々な厚みのサンプルを測定される
 お客様から「ギャップやテーパーの調整が大変」というお話を聞くと、
 うんうんと思いながら、自分ごとのように共感します。

 一方、半自動機はこれらの調整を自動で行ってくれます。


2.チャックの交換
 手動機には、大きく分けて2種類のチャックがあります。
 1つは、非吸着測定用のチャック。
 もう一方は、吸着測定用のチャックです。

 前者は 2~8 inch の非吸着測定(BOW,WARP,SORI)に対応します。
 後者はインチ毎に購入が必要で、吸着測定(TTV,LTV等)に対応します。
 測定項目、測定インチ毎に、チャックの交換が必要です。

 半自動機は、測定項目、インチに関わらず
 基本的には1つのチャックで測定が可能で、交換の手間を省けます。


なお、測定精度については、同じ測定原理を用いているため、
手動機、半自動機での差はありません。

操作方法についても、同じソフトウェアを使用しているため、
ソフトウェアのバージョンが同じであれば、機種間の違いはありません。

上記2点以外に代表的な違いとしては、
装置サイズ、厚み測定の可否、ウェーハ保持方向の違い、
将来的な自動機へのアップグレート可否等があります。


メーカーとしても、積極的に半自動機、自動機の販売を
進めております。

少しでも、半自動機の魅力、特徴がお伝えできているといいな、
と思っています。
そして、手動機で先にご紹介したようなお困りのことがある方の
参考、お手伝いができるともっと嬉しいな、と思っています。

ご興味のある方は、お問合せいただけますと幸いです。

今週も最後までお読みいただき、ありがとうございました。


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M.O

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