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2022.09.29

D-0186. FlatMasterシリーズ・よくあるご質問1 — E.N

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FlatMasterシリーズ・よくあるご質問1

発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2022年9月28日号 VOL.186

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇



皆様お疲れ様です。

ここ最近、沢山の著名人の死がニュースで伝えられ、
改めて人間の命には終わりがあることと、
今こうして生きている事の有難さを認識しました。

そして30歳を過ぎたころから、
時間の流れの早さを実感し、
このままではすぐに生涯を終えてしまそうで
毎日を大切にしなくてはいけないなと思いました。

なんだか重い話になってしまいましたが、
何の話がしたいかと言いますと、
私の可愛い娘がどんどん成長しているということです!

最近では、2語を喋ることも出来ます。
それは、「ぱぱ・ぷー」です。 
この意味は、「ぱぱ、ダメ!」です。

娘は怒っているのですが思わず顔がにやけてしまいます。
そして、「ぱぱ・と・じいじ」と言っていたのを
聞いてビックリ!
「と」の使い方を知っているなんて・・・

日々学習している!!と感動する母なのでした。
いつか会話をしたいな~と思う反面、
今のままでいて欲しいとも思う。複雑な親心です。


今日は、お客様から良くある質問をしご紹介し、
ざっくりと回答していこうと思います。


Q1. 粗さは測定できますか?

  残念ながら粗さは測定出来ません。
  以前はFlatMaster-Raという名前の
  粗さ測定機の取り扱いがございましたが、
  メーカが取り扱いを中止した事により、
  既存のユーザー様のサポートのみを行っています。

  FlatMasterでは、横分解能が足りず、
  短い波長の形状成分を認識できないです。


Q2. ロールオフは測定できますか?

  残念ながら平面度測定機では
  ロールオフが測定出来ません。

  その名の通り、平面度を測定する物なので、
  平面部分ではないロールオフは測定できないです。


Q3. 厚みは測定できますか?

  測定できます!!!!
  ここにきてやっと測定できます。
  これは大きな加点ですね!!!

  平面度測定に比べると精度的におまけなような
  立ち位置ではありますが、
  UltraSort-II や SemiAutoWafer では
  TTVと一緒に測定可能です。



Q4. どのくらいの大きなSORIまで測定できますか?   

  約100μmが目安ですが、形状によって
  トライしてみないと分からない
  というのが回答になります。


Q5. 1枚当たりの測定時間はどのくらいですか?

  装置ごとに、ご回答します。

  * UltraSort-II (自動機) :

    ・厚み無の場合 (SORI+TTV) --- 約24秒
    ・厚み有の場合 (SORI+TTV+Thickness) --- 約30秒

   標準仕様でカセットを4つセット出来ますので、
   100枚はほっておいても測定し続けます。


  * SemiAutoWafer (半自動機) :

    ・厚み測定無の場合 (SORI+TTV)
         --- 約24秒+ウェーハ交換時間20~30秒
    ・厚み測定有の場合 (SORI+TTV+Thickness)
         --- 約30秒+ウェーハ交換時間20~30秒

   オペレータの方が、ウェーハを交換する必要があります。
   交換に必要な時間は、人によりますが、
   私の場合は20~30秒くらいかなと思います。


  * FlatMaster-Wafer (手動機) :

    ・SORI測定 --- 約15秒+ウェーハ交換時間30~40秒
    ・TTV測定 --- 約15秒+ウェーハ交換時間30~40秒

   オペレータの方がウェーハ交換をする必要があり、
   SemiAutoWafer よりちょっとハンドリングが難しいです。
   また、SORI と TTV はチャックを変える必要があります。


貴重なお時間を割いていただきありがとうございました。


--
E.N

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