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2020.09.09

D-0164. わずか数nmの世界 — KG

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わずか数nmの世界
 
発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術!」
2020年9月9日号 VOL.164
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
こんにちは!
4月に入社した営業技術グループの顔頡と申します。

どうぞよろしくお願い致します。

簡単に自己紹介を致します。
私は中国上海出身、10年前日本に参りました。

精密測定装置に関わる仕事は2社目ですが、
平面度測定解析装置は初めてです。

今までの仕事で関わった大きさの単位は
ほとんどが mm でした。

最小でも μm レベルでした。

現在の職場では μm が基本、
nm も出てきます。

これまでとは完全に違う世界に踏み込みました。
今回は自分が驚いたサイズについて、少しお話し致します。


最新の半導体関連ニュースによると、
今年の後半には 5nm プロセスの量産が行われ、
来年からは 3nm プロセスの生産にも突入する予定
とのことです。

さらには 2nm の製造研究についても進んでいます!
ぱっと見て、5nm も 3nm も 2nm も
数字は大して変わらないですね。


シリコン(ケイ素)の原子直径は 0.3nm 以下です。
5nm というのは、ケイ素原子の数で言うと
高々20個程度ということです。

こんなに精密な「絵」を正確にウェハーに
描くことができるなんて、とても不思議な感覚です!


私たちの平面度測定解析装置は、
その不思議なことが実現できるように、
まさにその一環として携わっています。

自分はその中の一員となり、
光栄に思っています。


それでは、今回はここまで。
最後まで読んで頂き、ありがとうございました。


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