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エッジ除外機能について

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2019年05月22日号　VOL.150

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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こんにちは。営業技術グループの落合です。


今回は、
弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、ずばり、

解析機能である
「エッジ除外」

について、知っているとちょっと便利な
情報をお送りしたいと思います。


最も基本的な設定ですから、

「エッジ除外なんて、いつも使っているよ。
　今回のメルマガに、新しい情報はないな。」

「Edge Exclusion の事だから、
　EE2mmとかEE3mmって表すこともあるよね。」

「なぜEJ（エッジ除外）ではなく
　EEと略すのか・・・？！Edge Exclusionとは！！謎が解けた。」
（私は、なぜEEなのか疑問でした。）

なんて声が聞こえてきそうです。


そんなエッジカット機能ですが、
外周、または内周から一律に2mmや3mmの長さをカットする
　『Erosion』
以外にも選択肢があるのを、
ご存じでしょうか。

　1．Erosion
　2．Round
　3. Square
　4. RoundCA
　5. RectangularCA

の5種類があります。

1～4は、どのような場合に使われのでしょうか？


例えば、
Φ150のウエハを測定するとしましょう。
EE3mmを設定した場合、出力されるプロット画像は
Φ150-3×2=Φ144mmです。

しかし、今回測定したウエハは、
試作品のため端面に急勾配があり、
取得できた外周形状は波形状でした。

こんな時、「1. Erosion」で3mm設定を使っていると、
外周部から一律3mmカットが適用されます。
つまり、波形状がそのまま出力されてしまいます。

どのウエハも、正円で統一して評価できたらいいのに、
あきらめるしかないのか・・・

・・・こんな時に使いたいのが、
　4. RoundCA
です。

　『センター基準で入力値mmを直径とした円の外周を除外』
することができます。

RoundCA 144mm
を設定すれば、目的とする正円形状が得られます。
（簡単にきれいな正円にカットできます。）


同様に、
　5. RectangularCA
では、

　『センター基準で指定した縦横辺mmの外周を除外』
することができます。
（簡単にきれいな長方形にカットできます。）


他に、
　2．Round
　3. Square
はそれぞれ、

　『入力値mmを用いて、円形になるようエッジを除外』
　『入力値mmを用いて、正方形になるようエッジを除外』

となります。


以上、
ウエハを測られるお客様にも、
機械部品を測られるお客様にも使える、

エッジ除外機能のご案内でした。

最後までお読みいただきありがとうございました。

それでは、またお会いしましょう。


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Y.O