◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 
 
ウェーハ面形状の測定項目とその背景 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2017年6月28日号　VOL.127 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 
 
 
 
こんにちは。 
今週の”なみきごと”を楽しみにしてくださっていた皆様、 
大変申し訳ございません。 
代打の野中です。 
 
なみきごとじゃないのか。。。 
とテンションが下がったかもしれませんが、 
よろしければ読んでいって下さい。 
 
今回は、ウェーハ平面形状の測定項目と 
その背景について書きたいと思います。 
意外と知らない？かもしれませんし、 
知っているかもしれません。 
 
 
ウェーハの平面度はなぜ必要なのでしょうか。 
そして求められる平面度が大昔より厳しくなったのは 
なぜでしょうか。 
 
全ては露光装置の発展のせいです！！ 
 
ウェーハにパターンを露光する際には、 
ウェーハの裏面を全面吸着します。 
もしウェーハのTTV(厚みムラ)が大きかったらどうでしょうか。 
一部は焦点深度に入り、一部は焦点深度からはみ出て、 
露光できるところと出来ないところが出てきます。 
こんなの使い物になりませんね。 
きっと。。。歩留まりが悪くなってしまいます。 
そんな訳でして、TTVを測定する必要があるのですね。 
 
この焦点深度は、大昔よりもだんだん小さくなっています。 
これは、同じ面積に出来るだけ沢山のパターンを描きたくて、 
線幅を小さくしようと努力を重ねていった結果、 
副作用として焦点深度が小さくなっちゃった！という具合です。 
そうなると、ウェーハに求められるTTVも厳しくなるという 
副作用が生まれてしまいました。 
 
 
また、SORI(反り)が大きかったらどうでしょう？ 
裏面を上手く吸着できない。。。なんてトラブルがあるかも。 
そんなことがあれば、ラインがストップしてしまうかもしれません。 
大変です！！ 
そんな訳でして、SORIを測定する必要があるんですね。 
 
 
TTVやSORI以外にも測定項目はたくさんあります(覚えきれません!!!)。 
使用する露光装置によって求められる測定項目がちがいます。 
例えば、露光装置にチップ毎の傾き調整機構があれば、 
LTVなどのサイト解析項目の出番ですし、 
無ければTTVが重要になります。 
 
ウェーハの測定でご相談がありましたら、 
ご連絡お待ちしております。 
もちろん！その他測定のご相談もお待ちしております！ 
 
野中でした。