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2016.08.24

D-0114. データの取得領域 — FN

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データの取得領域 
 
発行:エスオーエル株式会社 
http://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術!」 
2016年8月24日号 VOL.114 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 
 
 
 
皆様こんにちは、営業技術グループの並木です。 
配信日の本日は講習を受けている最中です。前回の講習は1日で終了 
したのですが、今回は2日間受けて最後にテストがあるのです。 
受からないと困るのでがんばります! 
 
そして、とある事情で並木家で使用していた駐車場を移動しなければ 
ならなくなりました。。。前は下がコンクリートで屋根付きでしたが、 
今は砂利+雑草+直射日光浴び浴びの駐車場に移動になりました。 
今月は雑草と戦い、70Lのゴミ袋7コ分抜いてやりました!!! 
雑草の繁殖力・生命力にもう、お腹いっぱいです。 
除草剤をまいて綺麗になった駐車場に愛しのTANTO君を置いてます♪ 
 
 
 
今回のテーマはデータの測定領域のお話です 
 
ウェーハの話になります。 
ウェーハは端面が丸くなるようにJISで決められていますよね。 
端面はスパッととれているわけではないので、丸みを帯びて、 
勾配がついています。 
勾配がついているということは、干渉計で最外周を見た時に 
端面部分の干渉縞は端面に向かって徐々混み合っていきます。 
(勾配がきつくなるため) 
 
1つのピクセルあたり2本以上の縞が入ってしまうと、1本1本の 
干渉縞として見分けがつかなくなるため、最外周はデータを 
取得することができません。 
 
お客様からの要望で、 
『データから3mmエッジ除外してデータを出してください』 
といわれたら、捉えられた領域から3mmデータを除外することに 
なるので、必要以上にデータをカットしているかもしれません。 
例えばΦ100mmのサンプルで外周3mmを除外したとすると、 
最外周までデータを捉えることはできませんから、Φ94mmで 
あるはずか、Φ93mmになってしまうかもしれません。 
 
弊社では上記のようにならないように、Φ94mmより外側の 
データをカットし、オリフラに関してはマスキング機能を 
使ってデータを除外します。そうすればエリアが小さくなること 
なくΦ94mmのデータを取得することができます。 
 
ウェーハ1枚の価格が高くなってくると、最外周ギリギリまで 
使用しなければならなくなります。そんな時に解析でウェーハを 
無駄にしてはいけませんね! 
お客様が求めている解析をするもの、エスオーエルの仕事です! 
 
 
 
本日はここまで!!! 
いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々 
本当にありがとうございます! 
 
以上、営業技術の並木でしたm(_ _)m     ●また来月● 

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