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白色干渉とFlatMaster-Ra 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2016年6月29日号　VOL.112 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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みなさんこんにちは。 
 
 
 
最近はとてもムシムシして嫌～な気分になりますね。 
 
梅雨ですね。 
 
梅雨ってこんなにも雨降るっけ？というぐらいほとんど毎日雨な気がします。 
 
 
梅雨が明ければ夏! 
 
わたしは夏が結構好きです。わくわくした気分になります。 
 
花火、お祭り、海、プール、スイカ、新緑・・・ 
 
夏が近づくと新しいことがしたくなりまして、フラダンスを習いに行こうと思い、 
 
今週末、見学に行ってきます!! 
 
ヒ～ラヒラしたパウを着て、フ～ラフラやりたいわけです。 
 
いつか太陽の下で、フラダンスの発表会に出てみたいと夢見ています・・・ 
 
 
 
 
 
太陽光は、白色光です。 
 
 
以前にシャボン玉の干渉の話をしました。 
 
白色光は様々な色の光を含むため、シャボン玉の膜で干渉すると膜厚によって 
 
強めあう色が変わり、虹色に見えます。 
 
虹が虹色に見えるのも白色光がによる現象だからです。

（こちらは干渉とは違いますが。） 
 
 
 
シャボン玉は虹色に見えるのに、なぜ窓ガラスは虹色に見えないのでしょうか？ 
 
 
白色光は、なんと光路長差が3um以内でないと干渉しません。 
 
最低でも、膜厚×屈折率≦3umである必要があります。 
 
(3umというと、大きめのビフィズス菌2～3個分だそうです。 
 
ちょっと分かりずらいですが、菌級ということには驚きました。) 
 
 
レーザー光に比べて、凄く干渉の幅が小さいのです。 
 
レーザー光は干渉性が高く、白色光は干渉性が低いという言い方をします。 
 
 
窓ガラスの厚みは数mm以上が普通だと思います。 
 
これでは、窓ガラスが虹色に見えないわけです。 
 
 
 
 
Tropelの装置に白色光を利用した『FlatMaster-Ra』という粗さ干渉計があります。 
 
特にウェーハのような平らな物の粗さを測定する際には、とても便利な機構になっています。 
 
ステージに穴が開いていて、その上にサンプルが置けるようになっています。 
 
その穴に向かって下から白色光を当て、干渉縞をカメラで取得します。 
 
3umの範囲でしか干渉しないということは、干渉縞を探すだけでも一苦労ということですが、 
 
この機構だと、平らな面の測定であればどんな厚みのものでも、サンプルの測定面は

ステージと同一面になります。 
 
サンプルを変えるたびに干渉縞を探す、という手間がほとんどないわけです。 
 
 
そんなわけでして、『FlatMaster-Ra』は干渉縞を探す手間を減らして、時間の短縮にも繋がります。 
 
その余った時間でフラダンスが出来ます!!!!! 
 
 
『FlatMaster-Ra』にご興味のある方はぜひご連絡下さい。 
 
フラダンスに興味のある方もご連絡下さい!! 
 
今週の教室が楽しみです！ 
 
 
お時間をいただきありがとうございました。 


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野中