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ウェーハの反り測定と保持方法

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2015年9月23日号　VOL.098

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
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こんにちは。

弊社並木より引き継いだメールマガジン、記念すべき2回目の執筆です。
まずは余談から。


少し前の話ですが、子供を連れて家族で上野動物園に行きました。
私自身は人生2回目、初めて訪れた時は4歳くらいでしょうか。

長男も次男も、普段は見る事の出来ない様々な動物たちを前に
熱心に行動を観察していました。

印象的だったのは、お土産コーナーでの出来事。
長男はぬいぐるみに特に興味を示さず、絵本やパズルを欲しがったのですが、
次男はパンダのぬいぐるみを抱きかかえて放しません。

その日以降、次男はどこに行くにもパンダのぬいぐるみと一緒です。
兄弟でも興味の対象、その子が持っている感受性は違うんだなと改めて思いました。
同じような顔しているくせに面白いですよね。


さて、本題に入ります。今回はウェーハの反り測定について書いてみようと思います。

半導体ウェーハの測定において、お客様からよく聞かれる事があります。
それは、"反りを測定する時、水平保持と垂直保持のどちらが正しいですか?"
という質問です。これに回答する時は、いつも困ってしまいますね。
なぜなら、どちらも正しいからです。

反り測定は、全面の測定データから最小二乗法で基準面を算出し、
基準面をゼロとした時のMaxとMinのPV値で評価するのが一般的です。

Tropelの名称では"SORI"がこの演算です。
SEMIの名称だと、GFLYFER、及びGFLNFERがこの評価項目に相当します。

そう、お気づきの方がいらっしゃるかと思いますが、
SEMIの名称のみ同じ演算方法でも名称が2つあるのです。

4番目のアルファベットがYなのかNなのか、
この違いが測定時の保持方法を規定しているのです。

反りを測定する時、ウェーハを水平で測定する場合はGFLNFER。

垂直で測定する場合には、GFLYFERが適用されます。

ウェーハ自重によるたわみを含む反りの測定か、
自重のたわみを含まない反りの測定かをしっかり区別して測定をするべく、
SEMIの名称ではきちんと区別されているのです。

従って、水平保持で測る反りも、垂直保持で測る反りも、
どちらも使われています。

どちらを採用すべきか、それは測定の目的によって決められるべき事であり、
どちらも正しい測定方法であるのです。

ここまで書くと、"どの様に使い分けられてますか?" "どちらがより一般的ですか??"
という質問が聞こえてきそうです。この続きは、次回にしましょう。


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MS.N