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FlatMaster MSP-DL 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2015年2月25日号　VOL.091 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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 皆様こんにちは！

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます！ ))


今月は【FlatMaster MSP-DL】についてお話します。 
 
！！！短いです！！！ 
 
FlatMaster MSP-DL？？？　　はい、DLとはDown Lookingのことです。 
先月ご紹介したFlatMaster Semi Automatedと【装置の外観】や【半自動】 
に関しては同じです。 
 
先月のメルマガを参照ください♪ 
 
違うところを説明します！ 
①測定領域はφ150mmまで測定が可能です。6inchまでですね！！ 
 
②基板の厚み測定が可能です。それも繰り返し精度0.1nmです！ 
　50μm厚から3mm厚まで測定可能です。 
 
③アズスライス、ラップ、ポリッシュ、CMPの各工程におけるウェーハ形状の 
　変化量や研磨量分布の解析も可能です。 
　実際に、加工前後での基板の重さを計測した値と、MSPにて研削量を 
　解析して出力された値がほぼ同等でした！すっすごい！！！ 
　 
FlatMaster MSP-DLは加工メーカー様に大人気の装置です。 
この装置もお客様の要望から生まれた測定機なのです。 
 
良いところばかりの新機種です。 
お客様からの要望を聞いてどんどん新しい測定機を形にしていきます！ 
 
 
 最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、 
 いつも本当にありがとうございます！ 
 今後も、初心者（自分か？）向けメルマガを配信します♪ 
 楽しみにして下さいね☆★ 
 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう！ 
 また来月☆ 


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F.N