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FlatMaster SemiAutomated Wafer 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2015年1月28日号　VOL.090 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
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 皆様こんにちは！

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お知らせ！！ 
 
Tomoscopeの専門ページが弊社HPからサテライトWebサイトとして 
独立しました。今後、Werth社製X線CT装置 Tomoscope に関しては  
  
　　https://tomoscope.com  
  
にアクセス！！サクセスではありません。  
  
測定事例や測定原理など随時更新中です。チェックしてみてください！  
 
 
今月は【FlatMaster SemiAutomated Wafer】についてお話します。 
 
FlatMasterは知っているけど、SemiAutoってなんだ？？？と 
思われる方々も多いかと思います。 
 
FlatMaster SemiAutoとは半自動タイプの測定機です。 
自動機のUltraSortと同じように干渉計が宙づり状態なんです。 
弊社HPでUltraSortを見ていただくと想像がつくと思います。…思います。 
 
通常FlatMasterではTTVやLTV等の裏面を全面吸着させて測定する時と 
SORIを測定する時で使用するチャックを交換する必要があります。 
 
しかしSemiAutoタイプはチャックが一つで十分。 
1つのチャックでTTVもLTVもSORIも測れちゃうんです。 
 
なぜか？？？ 
それは、TTVを測定する時はもちろん裏面を全面吸着させて測定しますが、 
SORI測定の時は非吸着の状態で測定します。フリー状態ですね。 
SORI測定時は平置き仕様と同じなので、Bowチャック必要なし！ 
 
チャックは2inchから8inch基板まで、1つのチャックで全面吸着できる 
ユニバーサルTTVチャックを使用しております。 
通常のFlatMasterは、1つのinchサイズに対し1つのチャックが必要です。 
よって、『3.4.6inchの基板のTTVとSORIを測定したいの！』 
というお客様であれば3つのTTVチャック＋Bowチャックを購入して頂く 
必要がありました。 
しかーし！！！ユニバーサルTTVチャックであれば、2inchから8inchまで 
1つのチャックでOK!!!これは半自動タイプでのご提供となります。 
 
そしてもう1つ、利点があるんです。 
最近は硬い基板が増えてきましたよね。 
基板をチャックにセットする時にズルっといってしまいチャックを 
傷つけてしまう恐れがあります。 
しかし、SemiAutoには基板位置決めジグがあり、直接チャックに基板を乗せる 
ことはありません。さらに、位置決めジグがあるので基板を毎回同じ場所に 
セットでき、測定における位置ズレは起こりません。 
さらに、チャックからピンがでているので、チャックにじか置きしません。 
これなら基板も傷つかず、チャックも傷つきません！！！ 
 
良いところばかりの新機種です。 
次回はMSP-DLについてお話しようかと思います。 
 
 いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、 
 本当にありがとうございます！ 
 今後も、初心者（自分か？）向けメルマガを配信します♪ 
 楽しみにし下さいね☆★ 

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F.N