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2013.05.30

D-0070. FlatMasterでの大きな反りの測定! — FN

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FlatMasterでの大きな反りの測定!

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年5月30日号 VOL.070

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは!

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


今月は【FlatMasterでの大きな反りの測定!】についてです。

皆さんご存じの通り、FlatMasterは大きな反りを測定することができます。

8インチ(φ200mm)の基板であれば、
中心から凸もしくは凹形状なら200um程の反りまで測定出来ます!

しかし、もっと大きな反りを測定したいなぁというお客様に朗報です!


FlatMasterのとある機能を使ってレシピを組み、必要なパラメータを
調整すれば、1回の測定で約400μmの基板のSORI測定が可能となります!

400μm位のSORIであれば、得られる干渉縞の数は約50本。
基板が凸または凹形状であれば、干渉縞が混み合っていても測定可能です。


SORIが大きすぎて測定できない!とお悩みのお客様。
FlatMasterなら、基板の全体形状や数値を把握することが可能です!
一度お試しになってみてはいかがでしょうか?


最後まで見てくださった方々、ありがとうございます!

次回のメールマガジンでお会いしましょう!


--
F.N

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