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2013.03.30

D-0068. FlatMasterの基本 — FN

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FlatMasterの基本

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年3月30日号 VOL.068

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは!

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


今月は弊社平面度測定装置FlatMasterのおさらい
『FlatMasterの基本』についてです。


FlatMasterはIndustrial・Mask・Disk・Wafer仕様と4つ
仕様があり様々な場面で使用されています。
1台で色んな使い方ができます。

今回はその中の《Industrial仕様》について説明します!
Industrial仕様はなんと言っても、ワークのセットが簡単!
レベリングの必要なし、ワークを測定治具の上に置くだけ!

【測定ジグ】とは
・プリズムとワークの間に平行な空気層を約200um持たせる
・プリズムに傷をつけない        

ようにするものです。


なぜ測定治具が必要かと言うと、FlatMasterは光の干渉を
使う測定機だからです。

詳しくは弊社のHPの測定原理を見て下さい。
↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓
  斜入射干渉計の測定原理

ワークをセットして測定ボタンをクリックすれば、自動的に
測定を開始し解析まで行います。早ければ15秒程で
測定~解析まで完了します!

15秒ほどで約250000点のデータを得ることが出来るのです。
もし接触式タイプでなら一体何日かかるのでしょうか。
そんなところも干渉計の良いところですよね。

測定プロットも等高線図・鳥瞰図・断面解析図や3D plotと、
お客様自身で好きなレイアウトに出来ます。
中でも断面解析図では、様々な形状で断面解析が可能です。
X軸・Y軸でスライス出来るのはもちろんのこと、半径や直径、
円周方向にスライスすることも可能です。
また、スケールの調整も任意の数値を入れる事が出来ます。


FlatMasterは色んな場面で使われ、かつ誰でも簡単に操作できる装置です。


--
F.N

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