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2012.04.30

D-0055. FlatMasterのマルチ測定 — FN

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FlatMasterのマルチ測定

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2012年4月30日号 VOL.055

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは!

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


今回のメルマガのテーマは『FlatMasterのマルチ測定』です。

マルチ測定とは、平面度を測定したい部品を数個同時に測定する事が可能
な機能です。

測定例として
FlatMaster200(測定範囲:φ200mm)を使用し、φ80mmのサンプルを測定
するとします。
もちろん、サンプルを参照面の中心において1個測定する事も可能ですが、
4個まとめて測定する事も可能です!そして、1個ずつの測定結果を出す
ことが出来るのです。

ピクセルサイズを見てみると、
φ80mmのサンプルを参照面中心に1個置いた時の測定ピクセルサイズは
約0.186um/pixelとなり、4個同時に測定する時のピクセルサイズは
約0.376um/pixelとなります。従って、4個同時に測定する時の方が
横分解能は大きくなります。

しかし!!!!!
データを全面一括で取得でき、約10秒で測定が完了し、さらに数個一度
に測定できることによる時間短縮の効果は、かなりのものです!!!

実際に使用しているお客様もいらっしゃいます。大変便利な機能です!

今回のメルマガを読んで、少しでもご興味を持って頂ければ幸いです。

「おっ、これはやってみる価値あるかも!!」と思っていただけましたら、
お気軽にエスオーエルにご相談下さい!一緒に問題解決していきましょう!

最後まで見てくださった方々、ありがとうございます!
次回のメールマガジンもお楽しみに!


--
F.N

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