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FlatMasterのマルチ測定

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2012年4月30日号　VOL.055

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは！

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます！ ))


今回のメルマガのテーマは『FlatMasterのマルチ測定』です。

マルチ測定とは、平面度を測定したい部品を数個同時に測定する事が可能
な機能です。

測定例として
FlatMaster200（測定範囲：φ200mm）を使用し、φ80mmのサンプルを測定
するとします。
もちろん、サンプルを参照面の中心において１個測定する事も可能ですが、
４個まとめて測定する事も可能です！そして、１個ずつの測定結果を出す
ことが出来るのです。

ピクセルサイズを見てみると、
φ８０mmのサンプルを参照面中心に１個置いた時の測定ピクセルサイズは
約０．１８６um/pixelとなり、４個同時に測定する時のピクセルサイズは
約０．３７６um/pixelとなります。従って、４個同時に測定する時の方が
横分解能は大きくなります。

しかし！！！！！
データを全面一括で取得でき、約１０秒で測定が完了し、さらに数個一度
に測定できることによる時間短縮の効果は、かなりのものです！！！

実際に使用しているお客様もいらっしゃいます。大変便利な機能です！

今回のメルマガを読んで、少しでもご興味を持って頂ければ幸いです。

「おっ、これはやってみる価値あるかも！！」と思っていただけましたら、
お気軽にエスオーエルにご相談下さい！一緒に問題解決していきましょう！

最後まで見てくださった方々、ありがとうございます！
次回のメールマガジンもお楽しみに！


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F.N