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MSPによる平行度、高さ(深さ)測定

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年12月30日号　VOL.051

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
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皆様こんにちは！

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今回のテーマはMSPについてお伝えしま
す。題して、『MSPによる平行度、高さ(深さ)測定』です！

前回もお話ししました様に、MSPは垂直入射方式のフィゾー干渉
計です。レーザー光の波長を微小に変調させてフリンジスキャン
を行い、平面度や平行度や段差、更に奥まった面の平面度のデー
タを取得出来る測定機です。

では、平行度、傾き、高さ(深さ)とはなんでしょうか？

図を文字で説明するのは難しいので、日本酒を飲む時一升枡を想
像して下さい。口を付ける面(A面)と枡の底の面(B面)があります。

MSP上で平行度は、Parallelism(PAR)として表記します。
PARはA面を平行移動させ、B面の最大値と最小値を挟んだ時の距離
となります。B面の形状を含んだ値です。
この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん
だ平均面として算出しています。

また、傾きは、Taperとして表記します。A面を平行移動させB面を
挟んだ時の距離であり、B面の形状を含みません。
この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん
だ平均面として算出しています。

高さ(深さ)はHeightとして表記します。
Heightは、A面とB面の中心間距離です。
この時のA面は基準面の最小二乗平面として、B面は傾き成分を含ん
だ平均面として算出しています。

上記2つは、他の干渉計では測定できない分野です！！
φ300まででしたら、MSPで奥まった面の平面度はもちろんのこと、
平行度、傾き、高さ(深さ)も1度に測定する事ができます。

相差解析だけではなく、周波数解析も出来るMSPならではの測定です！

「よくわからないかも…でももしかしたら、このサンプル測定出来るかも！」
と思っていらっしゃる方がいらっしゃいましたら、お気軽にご連絡ください！

最後まで見てくださった方々、ありがとうございました！
良い年末を！そして、また来月末に！


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F.N