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レアアースと平面度管理

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年3月20日号　VOL.035

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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今回も、最近話題となっている平面度測定関連の情報をお伝え致します。

高精度な平面度を必要とするガラス基板の研磨剤として欠かせないセリウムは、
レアアース（希土類元素）の一つです。

レアアースは、金や銀などの貴金属に比べて地殻に存在する割合は多いのですが、
単独の元素を分離精製することが難しいことから、
レアメタル（希少金属）に分類されます。


さて、レアメタル関連のニュースが最近話題となっていますが、
供給の安定性という観点では、冒頭に挙げたレアアースの一つ、
セリウムも例外ではありません。

セリウムも生産地域の偏りや供給不安から価格変動が続いています。

従って、なるべくポリッシュ工程に必要な研磨剤の量を少なくしたい
というご要望がお客様から寄せられます。

ポリッシュ工程を軽減させるためには、
ラップ工程、更にはアズスライス工程から
基板のソリ(SORI)や厚みムラ(TTV)を管理する必要があります。


弊社の平面度測定機 FlatMaster は、
アズスライス基板からポリッシュ基板まで、
一連の工程を全て1台で測定する事が出来ます。

この辺の情報は、過去のメールマガジンにも取り上げています。
　　021. 工程管理は上流から

さらに、FlatMaster MSP シリーズは、ガラス基板などの透明基板でしたら、
チャックすることなく、FlatMaster の測定項目＋全面厚み測定も可能です！


FlatMaster MSP による SORI、厚みムラ(TTV)、厚み の測定は、
弊社が力を入れてアプリケーション開発したものです。

現在、透明基板（ポリッシュ品）のみならず、
半透明基板（ラップ品）においても、SORI、厚みムラ(TTV)、厚み の測定が可能です。
しかも、チャックレスです。


我々は、測定機やアプリケーション開発によるソリューションをご提供していますが、
レアアース事情など、様々なお客様の声に触れる度に、
国内あるいは世界の情勢・経済との大きなつながりをつくづく感じます。


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F.N