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干渉計のスループット

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2010年8月30日号　VOL.024

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
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トロペルの干渉計は測定サンプルを置いてパソコン操作で
測定開始ボタンを押すだけです。

先日、エスオーエル社内でトロペルの干渉計は何秒くらいで
測定完了するのか、オペレーションの時間を測定してみました。
結果、サンプルをセットするのに3秒、測定機の測定動作で15秒となり、
合わせて18秒で測定できることがわかりました。

これはもちろん、作業者や測定レシピが違えば、何秒かはバラつくはずです。
あくまでも参考数字ですが、それでも10秒から30秒くらいではないかと
予想しています。


トロペルの干渉計はプリズムの上に測定サンプルを置くだけで、
調整も不要で測定できますが、一般的な垂直入射式の干渉計では
干渉縞を発生させるために必要になる基準平面と測定サンプルとの
チルト調整が必要です。

チルト調整は作業者が理解できれば、難しい作業ではありませんが、
それなりに時間がかかります。

エスオーエルの社内にある垂直入射式の干渉計を使って、
測定時間を確認してみました。
サンプルをセットしてチルト調整するのにかかった時間は31秒になりました。
再度置き直して調整したところ22秒。もう一度置き直して調整したところ25秒でした。
平均時間は26秒で、測定時間がトロペル同様15秒であったとしても
40秒かかってしまいます。

垂直入射式の干渉計のサンプルのチルト調整をしている間に、
トロペルの干渉計は測定がすべて終わっていることになります。
単純に時間だけ考えて、8h連続測定したとすれば、チルト調整が必要な
垂直入射式の干渉計は720個（回）測定できることになりますが、
その間トロペルは1440個（回）測定をすることができるということになります。


調整が不要で、測定がはやくて、高精度のトロペル平面度測定機は
弊社にデモ機がございます。
サンプル測定、デモ測定などご希望の方はお問い合せフォームからどうぞ！


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T.S