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工程管理は上流から

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2010年7月30日号　VOL.021

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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　ウェーハを製造する工程で、平面度管理はウェーハの作り込みに
とても重要な管理です。

　中でもインゴットからの切断時点から、平面度を管理していく
上流管理は大変重要な位置を占めています。


　切断後のウェーハはその後ラップ、ポリッシュなどで反りや厚みが
修正されますが、形状は最後まで残ってしまう傾向があります。

　反っているウェーハは研磨工程後も反ったままであったり、
表面と裏面が平行でないようなクサビ形状があるものは
研磨後もやはりクサビの成分が残ってしまいます。


　また、最近はウェーハの厚みが薄くなる傾向があります。

　最初から反りが少なく、より均一な厚みのウェーハを
切断の工程から作り込んでおきたいという要求が以前よりも
強くなってきているようです。


　しかし、切断後のウェーハはソーマーク（切断跡）による
凸凹があったり、反りがあったりしますから、干渉計で平面度を
測定するには困難な課題があります。


　最大の問題はソーマークや大きな反りは局所的に大きな勾配を
もっているということです。

　これは以前メルマガVOL.020で紹介したように
CCDカメラの1つのピクセル内に2本以上の干渉縞が
あるような大きな勾配がある場合はローカルスロープリミット
という測定限界が存在するために起こる問題です。

　TROPELのFlatMasterシリーズはこの局所勾配の問題の解決に
二つの機能で対応しています。


　まずひとつは判別できない勾配はデータを欠落させてしまい、
信頼性のないデータは出力しないようにしています。

　詳しくは、メルマガVOL.020の「平面度測定機と相関の課題」の
「③ローカルスロープリミットの判別」をご確認下さい。


　もうひとつは、干渉に使うレーザー光の入射角度を大きくすることで、
干渉縞の間隔を広げます。

　この操作でCCDのローカルスロープリミットを回避して、
データ欠落の無い測定結果を出力します。



　このようにTROPELのFlatMasterシリーズは平面度管理が難しい
ウェーハ製造工程の上流側から管理することができます。


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T.S