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新製品FlatMaster MSP150のご紹介

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2009年7月1日号　VOL.006

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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【新製品FlatMaster MSP150のご紹介】


前回のメルマガでお知らせした新製品FlatMaster MSP150(以下MSP)
を皆様に改めて紹介させて頂きます。　

MSPは新しいタイプのフィゾー式垂直入射干渉計です。主な特徴と
しては以下が挙げられます。


①奥まった面の全面測定が可能：
　今までは奥面の測定は三次元測定機で数点のみ、あるいは干渉計
で一部分のみ、あるいは顕微鏡タイプで時間を掛けながらの全面測
定が普通でした。
しかしこれからはMSPで30～60秒で全面測定できます。


②幅広い面状態の測定が可能：
　垂直入射方式ではありますが、研削面から研磨面まで幅広く測定
できるのも強みです。

研削面が測定できるということはつまり、繋がった干渉縞が無く、
モザイクのようなランダムな干渉縞でも測定できるということです
また、干渉縞が薄くて人間の目では確認できない場合でも、装置は
きちんと測定します。

これらは、波長可変レーザーシステムを用いたハードウェアと、
MSP専用に開発されたソフトウェアというこの二つが完成して初め
て実現しました※⑥。


③面から面までの高さ/深さ 測定：
　MSPでは高さ（深さ）は単なる2点間の距離ではありません。面か
ら面までの距離を測定します。基準となる面から最小二乗平面を計
算しその最小二乗平面から他の面までの平均距離、最大距離、最小
距離を解析します。
なお、このときの最大距離－最小距離が平行度（Parallelism）です


④仕様：
　データポイント78万点、測定時間30～60秒、測定可能段差は60mm
測定範囲はφ150mmまで、Z軸方向分解能0.01um、横分解能0.15 mm
です。


⑤高い繰り返し精度：
　Z軸方向の動き（モーター）が無いことにより高い繰り返し精度を
誇ります。
校正原器で25回繰り返し測定したときの1σは平面度0.020 μm、
高さ0.100 μmです。


⑥ハード、ソフトで合計11件の特許取得済みです。


⑦多面同時測定：　
今までの干渉計では、いくつもの面が段になっているとき、それら
の平面度、平行度、深さ/高さ の測定には問題がありました。

全く新しい干渉計 Tropel FlatMaster MSP では高さが異なる場合で
も、独立したいくつもの面を同時に測定できます。

ハーモニック解析や加速度解析の他、微小うねり（MicroWaviness）
と組み合わせることも可能です。

今まで諦めていた測定のお役に立ちたく、一度ご覧頂きたく存じま
す。デモ測定は随時受け付けておりますので、どうぞお電話やメール
Webページ等からお問い合わせ下さい。お待ちしております。


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S.K