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2017.06.07

B-0050. トロペル製品ラインナップ変更のお知らせ — AT

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トロペル製品ラインナップ変更のお知らせ 
 
発行:エスオーエル株式会社 
http://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの??」 
2017年6月7日号 VOL.050 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 
 
 
 
こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 
 
今回は平面度測定機のCorningTropel社から、 
ラインナップ変更のお知らせが来ましたのでお伝えします。 
 
モデルチェンジになる機種は、 
ウェーハ用平面度測定機(自動機)のUltraSortシリーズです。 
 
今後リピート以外でウェーハ用平面度測定の自動機をご検討の 
お客様には新型モデル「UltraSortⅡ」のご案内をさせて頂きますので、 
宜しくお願い致します。 
※リピートのお客様には暫くは従来モデルもご案内可能です。 
 
 
では、UltraSortⅡの特徴を以下にまとめてみます。 
 
・サンプルサイズ: 
 UltraSort150 Ⅱは2"~6"対応。 
 UltraSort200 Ⅱは4"~8"対応。 
 
・測定項目: 
 TTV、LTV、SORI、BOW、WARP、Thickness、その他 
 
・測定精度: 
 Accuracy(測定精度)は0.10μm以下。 
 Repeatability(繰返し精度)は0.025μm(1σ)以下。 
 
・スループット: 
 吸着測定(TTV等)+非吸着測定(SORI等)は150枚/h。 
 吸着測定(TTV等)+非吸着測定(SORI等)+厚み測定は120枚/h。 
 
・搭載カセット数: 
 標準は4個。 
 オプションで8個、12個、16個が選択可能。 
 
・オンライン化: 
 対応可。(内容は要ご相談) 
 
・粗さ測定: 
 オプションでFM-Raを装置に組み入れることが可能。 
 
 
これまでのモデルと比べて測定項目や精度に変わりはありません。 
大きく変わったのはスループットが2倍弱になった点と 
工場の自動化(OHTやAGV等)に対応が可能という点です。 
 
また、セミオート機でご導入頂いて、後々アップグレードで 
自動機にすることも可能です。 
 
 
UltraSortⅡに関する資料もご用意しておりますので、 
ご希望の方はこのメールにご返信頂くか、 
直接お問合せ(電話番号:048-441-1133)を頂ければ幸いです。 
 
 
  
今週も、最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 


--
A.T

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