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トロペル製品ラインナップ変更のお知らせ 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの？？」 
2017年6月7日号　VOL.050 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 
 
今回は平面度測定機のCorningTropel社から、 
ラインナップ変更のお知らせが来ましたのでお伝えします。 
 
モデルチェンジになる機種は、 
ウェーハ用平面度測定機(自動機)のUltraSortシリーズです。 
 
今後リピート以外でウェーハ用平面度測定の自動機をご検討の 
お客様には新型モデル「UltraSortⅡ」のご案内をさせて頂きますので、 
宜しくお願い致します。 
※リピートのお客様には暫くは従来モデルもご案内可能です。 
 
 
では、UltraSortⅡの特徴を以下にまとめてみます。 
 
・サンプルサイズ： 
　UltraSort150 Ⅱは2"～6"対応。 
　UltraSort200 Ⅱは4"～8"対応。 
 
・測定項目： 
　TTV、LTV、SORI、BOW、WARP、Thickness、その他 
 
・測定精度： 
　Accuracy(測定精度)は0.10μm以下。 
　Repeatability(繰返し精度)は0.025μm(1σ)以下。 
 
・スループット： 
　吸着測定(TTV等)＋非吸着測定(SORI等)は150枚/h。 
　吸着測定(TTV等)＋非吸着測定(SORI等)＋厚み測定は120枚/h。 
 
・搭載カセット数： 
　標準は4個。 
　オプションで8個、12個、16個が選択可能。 
 
・オンライン化： 
　対応可。(内容は要ご相談) 
 
・粗さ測定： 
　オプションでFM-Raを装置に組み入れることが可能。 
 
 
これまでのモデルと比べて測定項目や精度に変わりはありません。 
大きく変わったのはスループットが2倍弱になった点と 
工場の自動化(OHTやAGV等)に対応が可能という点です。 
 
また、セミオート機でご導入頂いて、後々アップグレードで 
自動機にすることも可能です。 
 
 
UltraSortⅡに関する資料もご用意しておりますので、 
ご希望の方はこのメールにご返信頂くか、 
直接お問合せ(電話番号：048-441-1133)を頂ければ幸いです。 
 
 
　 
今週も、最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 


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A.T