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自動ウェーハ測定機UltraSortⅡのご紹介 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの？？」 
2016年11月16日号　VOL.043 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
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こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 
 
 
先週のアメリカ大統領選挙の結果には驚きました。 
イギリスのEU離脱に続き、何が起こるか分からない世の中です。 
 
為替の変動も激しく、トランプ氏優勢の報道がされてから、 
巷の予想通り、一時は1ドル=101円まで円高になりましたが、 
このまま進むかと思いきや、まさかの円安で週明け107円です。 
 
 
さて、段々と寒くなってきて年末の空気が漂ってきました。 
決算月が3月の企業様は、10月～今頃にかけてが来期の設備投資を 
ご申請される頃でしょうか。 
 
弊社でもやはり10月～11月はお問合せが最も多くなる時期です。 
今年は次世代の自動車に搭載される開発段階の部品や材料の測定用に 
X線CT装置「TomoScope」、 
または半導体基板測定用に平面度測定機や粗さ測定機で 
多くご評価を頂いています。 
 
 
その中で今回はCorningTropel社製自動ウェーハ測定機の 
新型モデル「UltraSortⅡ」について、ご紹介させて頂きます。 
 
 
UltraSortⅡは2年前に発売開始になったウェーハ測定用の自動機です。 
初号機(UltraSort)もまだラインナップにありますが、 
今後益々増えるであろう工場の自動化に対応するモデルという 
位置づけで開発されました。 
 
それぞれの概要としては、 
 
【UltraSort】 
・測定項目： 
　吸着(TTV、LTV)、非吸着(SORI、WARP、BOW)、厚み(オプション) 
 
・スループット： 
　吸着測定＋非吸着測定は90枚/h 
　吸着測定＋非吸着測定＋厚みは60枚/h 
 
・カセット搭載数： 
　仕様により3個か4個 
 
【UltraSortⅡ】 
・測定項目： 
　吸着(TTV、LTV)、非吸着(SORI、WARP、BOW)、厚み(オプション)、 
　粗さ(オプション)、ロールオフ(オプション)、他 
 
・スループット： 
　吸着測定＋非吸着測定は140枚/h 
　吸着測定＋非吸着測定＋厚みは120枚/h 
 
・カセット搭載数： 
　標準は4個で、オプションで16個まで可能 
 
となっています。 
 
UltraSortⅡは装置の回りを16個のカセットが 
取り囲んでいる構図ですが、 
もし粗さ測定やエッジのロールオフ測定も盛り込む場合は、 
カセット数を減らして、その場所にそれぞれの装置を 
設置することで、1台で何役も担うことが出来ます。 
 
またソフトウェアもUltraSortⅡは新しいモデルになっていて 
工場のホストコンピュータから信号を出して人を介さず運用する 
オートメーション化にも対応しています。 
 
 
もし「暫くは量が少ないけれども将来的には量産機・・・」 
と考えられているお客様には、 
一旦FlatMaster-SemiAutoというUltraSortⅡのロボット部分だけ 
取り除いた仕様もありまして、アップグレードでロボット部分を 
追加することが出来ます。 
 
 
ご興味がありましたら、もう少し詳しくご紹介致しますので 
是非お問合せ頂ければ幸いです。 


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A.T