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　　φ300mm超基板の測定に関する開発について

　「知って得するTropel新情報」
　　2026年8月21日号　VOL.H-0007
　　https://a13.hm-f.jp/cc.php?t=M788989&c=6593&d=ab05
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「知って得するTropel新情報」では、
Tropel装置の新情報や便利な機能などをお届けします。

今回は、φ300mmを超える大型基板測定に関する最新情報をお伝えします。

従来のTropel製品では、測定可能なサイズは最大でφ300mmでした。

例外として、オプション機能のステッチングソフトを使用することで、
φ300mm超のサイズの測定が可能ですが、基本的に位置決め用の治具は、お客様に設計、製造いただいておりました。

しかし先日、φ300mmを超える大型基板向け測定機の開発について発表がございました。
Panel Level Packageの310mm角パネル向けに開発されたものですが、他の大型基板も測定可能です。

複数の装置についての発表がございましたが、これらは段階的にリリースされる予定です。


まず、現段階では『MSP300＋ステッチングユニット』がリリースされております。
こちらは、MSP300に専用の位置決めステージおよびソフトウェアが追加されています。

本装置では基板を4回に分けて測定したのち、ステッチングを行って、全面のデータを取得するというものです。
測定可能サイズは、角型基板で最大310mm角、丸型基板では約φ380mmまでとなっています。


次に、2027年を目途として、310mm角基板を一括測定可能な新型MSPの開発が進められています。

さらに、自動機の構想もあるようです。


大型基板の測定をご検討中のお客様や、今後の開発動向にご興味のある方は、ぜひお気軽にお問い合わせください。


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