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　　UltraSort2のTTV測定のご紹介

　「知って得するTropel新情報」
　　2026年3月20日号　VOL.H-0004
　　https://a13.hm-f.jp/cc.php?t=M729283&c=6352&d=17d3
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「知って得するTropel新情報」では、
Tropel装置の新情報や便利な機能などをお届けします。

今回はUltraSort2のTTV測定に関しご紹介します。

ウェーハの平面度測定に多くご使用いただいているFMシリーズですが
現在では手動機のFlatMaster-Waferは新規の製造が終了となり、
半自動機(Semi Auto Wafer)タイプや自動機(UltraSort2)タイプがメインです。

従来の手動機のTTV測定時には厚みが変わる度に
BackReferenceCalibrationを行い裏面基準を取得していました。
しかし半自動機以降では厚みによらず、ワンボタンで行える
キャリブレーションを実施していただくのみとなっています。

このキャリブレーションではウェーハを使用しないため、
置き方による測定者間のバラつきも無く、操作性が向上しています。



そして更にUltraSort2では追加機能として、ウェーハを使用した自動搬送による
手動機と同様のキャリブレーションも実施可能となっています。
カセット毎に自動で毎回キャリブレーションを行うため、
キャリブレーションから測定までの時間が短く、より精度の良い測定が可能です。

6inch以下のウェーハでは、更に高精度なTTV測定もございます。
ご興味がございましたら、是非お問い合わせください。

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