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　　パーティクル対策方法のご紹介

　「知って得するTropel新情報」
　　2025年9月19日号　VOL.H-0001
　　https://a13.hm-f.jp/cc.php?t=M661151&c=6352&d=17d3
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「知って得するTropel新情報」では、
Tropel装置の新情報や便利な機能などをお届けします。

今回のテーマは、パーティクル対策です。

ウェーハのTTV（GBIR）測定時、チャックに付着したパーティクルが
測定結果に影響することがございます。

このお悩みを解決する方法を２つご紹介します。


1. ガラスコーティングチャック:

   Tropelが最近、
　 UltraSortII、FlatMaster-Semi Auto Wafer用の新チャックを開発しました。
    
   チャック表面がガラスでコーティングされており、
   パーティクルが付きにくく、付いたとしてもパーティクルの除去が簡単になりました。


2. パーティクル除去ソフト:
 
   パーティクルを認識して、解析時に除去する機能がございます。


弊社デモ機でご評価可能ですので、
ご興味がございましたら、是非お問い合わせください。

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