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半自動機・自動機用チャックについて

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2023年11月1日号　VOL.149

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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こんにちは、営業の渋谷です。

最近日中は暖かく、朝晩はぐっと冷え込み
冬が近づいてきたなと感じております。
そろそろうちの冷え性ちゃん(犬)にも
もこもこのお洋服を着せてあげる頃が来たかと
わくわくしています。

洋服は嫌がるかなと思っていたのですが、
どうやらいつもより「かわいい」と言ってもらえる回数が
増えるからか喜んで着てくれます。
ただ、気に入らない洋服もあるようで、
その時にはむっとした顔をします。
どちらの表情もかわいいです。


さて、本題に移ります。

今回のメルマガでは
Tropel の FlatMaster-SemiAutoWafer (以下SAW) と
UltraSort-II (以下US) で採用されている
ユニバーサルチャックのメリットについて
お話しいたします。


1. チャックへのダメージが少ない

　まず最初に挙げるメリットとして、
　摩耗の影響を抑えることができる点です。
　ウェーハを乗せる時はチャック中央部のピンが上がり、
　その後ピンが下がることで
　チャックにウェーハを乗せることができます。


2. チャックの交換不要

　ユニバーサルチャックであれば
　吸着測定(TTV、LTV等)と非吸着測定(SORI、BOW、WARP)の
　両方を1つのチャックで測定することができます。

　そのためどちらの測定方法でも
　チャックを交換することなく連続で測定することができ
　かかる手間と時間を減らすことができます。


　以前のメルマガでもご紹介いたしましたので、
　そちらもお読みいただけますと幸いです。

　＜ https://www.sol-j.co.jp/mailmag/e-0132/ ＞


今週もお読みいただきありがとうございます。


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K.S