logo

logo

メールマガジン・新着情報一覧

  1. TOP
  2. メールマガジン・新着情報一覧
  3. E-0114. FlatMaster-Wafer, SAW 主要オプションの種類と概要 — MO

2021.09.29

E-0114. FlatMaster-Wafer, SAW 主要オプションの種類と概要 — MO

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
FlatMaster-Wafer, SAW 主要オプションの種類と概要
 
発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2021年9月29日号 VOL.114

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
こんにちは。営業の太田です。


前回6月のメルマガで、「梅雨入りしましたね」と書きましたが
もうあっという間に秋ですね。


1日のうちの明るい時間が短くなり、少し寂しい気もしますが、、、
過ごしやすい気候になり、
汗をかくのと冷房が嫌いな私は、快適な毎日を過ごしています。


今年も夏らしいことは特に何も出来ませんでしたが、

花火大会の代わりに、手持ち花火を楽しみ、
川遊びの代わりに、近くの泥池でザリガニを捕まえ、
旅行の代わりに、サイクリングに行き、
プールに行く代わりに、庭にビニールプールを作って遊びました。


「コロナ渦で、一番ストレスを感じているのは
小さい子供を持つ母親だ」というニュースを目にし、
「うん、うん。」と大きく頷きましたが、

こう書いてみると、制限がある中、
結構満喫出来たな、と楽しい気分になってきたので、
私の感じるストレスなんて大したことなかったようです。


来年こそは「代わりに」ではなく、
夏の醍醐味を味わえたら良いなと思っています。



さて、本題に入ります。


前回の内容(FlatMaster-Industrialオプション)の続きとして、

今回は手動機、FlatMaster-Waferと、
半自動機、FlatMaster-SemiAutomatedWafer(以降FlatMaster-SAW)の

主要オプションの種類とそれぞれの概要についてお伝えします。


まず、前回のFlatMaster-Industrialと共通のものは
名前だけご紹介します。


1.XR、XRAオプション

2.FFTオプション

3.リファレンスフラット


※ 詳細は前回(VOL.110)のメルマガをご参照いただけると幸いです。


そして、ここからが手動機、FlatMaster-Waferのオプションとなります。


1.ウェーハチャック

 A) 非吸着チャック
  FlatMaster-Waferご購入の際、
  「Universal Bow Chuck」一つが付属されます。

  BOWやSORIなどの非吸着測定を行うためのチャックで、
  真ん中1点もしくは3点(インチにより異なる)で
  ウェーハが落ちない程度に吸着を行います。
 
  Universal Bow Chuckの対応サイズは
  チャック一つで、2"~8"までとなります。


 B) 吸着チャック 
  TTVなどの吸着測定を行うためのチャックです。

  Universal Bow Chuckと異なり、インチ毎に
  ご用意頂く必要がございます。


  インチだけでなく、その他にもお決めいただく必要があるものが
  いくつかあります。


  ・通常ピッチチャックか、ファインピッチチャックか
   → 吸着チャックの表面には、中心から同心円状の溝が掘られており、
     真空ポンプで吸引した空気が溝を伝わって
     全面吸着できるようになっております。
     
     ファインピッチチャックとは、その溝と溝のピッチが、
     通常よりも細かく掘られており、薄いウェーハ等、
     外周部が浮きやすいウェーハなどにご案内しております。


  ・オリフラかノッチか
   → 2"、3"、4"はオリフラ、6"、8"はオリフラもしくはノッチのどちらか、
     お客様のウェーハ形状に応じてお決めいただきます。

     さらに、6"はオリフラでも、SEMIもしくはJEITAどちらか、ご指定いただきます。

    ※ その他、特殊な形状やサイズ等、ご相談いただくことでご対応できる場合もございます


次に、FlatMaster-SAWのオプションです。


1.Wafer Thickness
  ウェーハの厚みを測定することが可能なオプションです。
  手動機では厚みの測定はできません。

2.ウェーハチャック
  FlatMaster-SAWご購入の際、
  Universal Chuckが一つ付属されます。

  手動機のFlatMaster-Waferと異なり、半自動機のFlatMaster-SAWでは、
  それぞれのインチの吸着測定、非吸着測定、全て一つのチャックで測定が可能です。


  インチ毎、測定項目毎にチャックを交換いただく必要はありません。


  手動機は、チャックの交換に加え、それぞれウェーハの厚みに応じて
  ギャップの調整が必要なので、
  その手間を省けるのは、メリットですね。


  こちらも、オリフラ、ノッチ等に応じて選択肢がありますので、
  お客様のウェーハ形状に応じて、お選びいただくことが可能です。


  ちなみに、半自動機の魅力は先日のメルマガに
  もっと詳しく書いてありましたので、ご参照下さい。
  https://www.sol-j.co.jp/mailmag/d-0174.html


3.ウェーハ保持ジグ
  保持ジグが標準で4つ付属されます。
  サイズはお客様の測定されるインチに応じて、お選びいただくことが可能です。
  ※ 4つ目以降は、オプション扱いとなります。

  ウェーハ保持ジグがどういうものかというと、
  ジグにウェーハをピタッとくっつけて測定することによって、
  毎回ほぼ同じ位置で測定ができるというものです。


ここまで書きましたが、

特にチャックなど、
いくつか種類がある中で選択いただくのは大変だと思います。

お客様のニーズやご要望を適宜お伺いし、
適切なチャックやオプションをご提案できるように頑張ります!


「そんなものもあるんだ。」程度に
参考にしていただけると嬉しいです。


次は今年12月最後のメルマガを予定しています。
3ヶ月先ですが、あっという間にその日が来そうですね。


つまり、もう1年が終わるのですね。早い。。。


2021年もHappyだった!と言えるように、
残り3ヶ月有意義に過ごせると良いですね!


最後までお読みいただき、ありがとうございました。


--
M.O

一覧に戻る

お問い合わせ Contact

048-441-1133

お問合せフォーム