◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
FlatMaster-Industrial　主要オプションの種類と概要
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2021年6月30日号　VOL.110

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
こんにちは。営業の太田です。


いよいよ関東でも梅雨入りしましたね。


我が家では、子供たちと家庭菜園をすることが
夏の定番となっていまして、
今年は、茄子とオクラとヤングコーンの苗を植えました。


暑い日は、朝子供が水やりをしてくれ、
「茄子のお花が咲いてるよ！もうすぐ食べられるかな？」と
嬉しそうに毎日大事に育てていたのですが、、、


梅雨に入り、なかなかお世話ができず
しょんぼりしている子供たちです。

梅雨が終わり、太陽の光をいっぱい浴びて、
美味しい野菜が沢山なってくれることを願っています！




今回は、FlatMaster-Industrial主要オプションの種類と
それぞれの概要についてお伝えします。


１．XR、XRAオプション
　縞感度約1.8μm/fringe～約7.8μm/fringeの間で、
　3段階可変することが可能なオプションです。

　以下のような場合にご案内することが多いです。　


　・サンプルの平面度に幅がある場合
　　平面度が10μm以下などの、平面度が良いサンプルの場合、
　　縞感度の数値を小さく設定することで精度良く測定が可能です。

　　一方で、大きな反りがあるサンプルや局所勾配のあるサンプルに対しては、
　　縞感度の数値を大きく設定することで、取得領域が広がる場合があります。


　・サンプルが鏡面、粗面どちらもある場合
　　縞感度（≒入射角）を可変させることにより、反射率が変わります。

　　測定面が粗面の場合、縞感度が小さいほど反射の際レーザー光が分散され、
　　干渉に十分な反射を得られません。
　　その場合、縞感度をあげることにより、反射を得られる場合があります。


　ちなみに、XRとXRAの違いと致しまして、
　以下の通り、感度設定の範囲が異なります。

　XR ：縞感度約4.0μm/fringe～約7.8μm/fringeの間で3段階可変
　XRA：縞感度約1.8μm/fringe～約7.8μm/fringeの間で3段階可変



２．FFTオプション
　透明品を測定する際にご案内することが多いオプションです。

　プリズム表面での反射光と、サンプル表面での反射光（１次フリンジ）を
　利用した干渉の結果を表面形状としておりますが、

　透明品の場合、この2つの反射光に加え、サンプル裏面からの反射光が
　加わる場合があります。これを2次フリンジと呼びます。

　FFTオプションが無いと、1次フリンジと2次フリンジを分離することができず
　表面形状の測定結果が意図しない結果になることがあります。

　FFTで2次フリンジの分離が出来ることによって、
　厚みムラなど一部の項目を測定できる場合もあります。

　※ ただし透明品の場合でも、裏面からの反射を十分に得られる場合に限り、
　　　サンプルの厚みや屈折率に応じて異なります



３．リファレンスフラット
　光学エラーなど、少しの誤差も測定結果に影響が出るような測定、
　例えば、平面度1μm以下の測定の際に
　使用していただくことをおすすめしています。

　↓↓詳しくは、過去の記事を御覧ください。↓↓
　https://www.sol-j.co.jp/mailmag/d-0134.html



まだオプションは他にもありますが、
以上が、お客様にご案内することが多いオプション3種類となります。

　※ 一部、FlatMaster40と100,200で内容が異なる部分があります　


FlatMaster-Industrialをお使いのお客様で、

「そういえば最近データが欠落してしまうが、全体の形状を把握したい」

ですとか、

「透明品を測定するようになったが、裏面からの干渉が測定に影響しているようだ」
「1μm以下の製品を測定する機会が増えてきた」


等々、オプション追加で何かお手伝いできることがございましたら
お気軽にご連絡いただけると幸いです。


新たに装置ご購入を検討中のお客様も、少しでも
FlatMaster-Industrialの「出来ること」について理解を深める
手助けになれていたら、嬉しく思います。



本日はここまで。


これから、ジメジメした梅雨が続くと思いますが
体調など崩されないよう、ご自愛ください。



最後までお読みいただき、ありがとうございました。


--
M.O