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自己紹介と、ローカルスロープリミットについて
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2021年3月31日号　VOL.106

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。
 
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はじめまして。5週目のメルマガを担当することになりました、
営業の太田と申します。


皆様に有意義な情報をお伝えするこのメルマガですが
そんな大役が私に務まるのか、、と大変不安です。
ですが、日々学びながら得たものをうまくアウトプット出来るよう
頑張りますので、よろしくお願い致します。


最初なので簡単に自己紹介を致します。


エスオーエルは2社目の会社で、今月で入社8ヶ月目となります。
測定機や、Tropel関連装置のお客様で多い半導体業界とは
別の業界から転職してきました。


趣味、、、というか「時間があればやりたいな！」
と思っていることは結構沢山あるのですが
「時間がなくてもこれだけは欠かせない！」というのは
ガーデニング。と、最近始めたピラティス。


ガーデニングは去年今の家に引っ越してからはもはや私の生活の一部！
お花を買う時に
「これはどこに植えようかな、配置はどうしようかな、色合いは？バランスは？」
と考えながらお花を選び植えるのが楽しくてしょうがない！

そして咲いたお花を摘んで、家の中に飾るのが本当に幸せです。


ピラティスはダイエットの一環として始め、今の所2ヶ月毎日続いています。
最初はしんどかったのですが、
続けてみると目に見えて分かる効果が現れ（ただの自己満）
続けるのが楽しくて。こんなにハマるとは思っていませんでした。

ついでに雨の日以外は、20～30分ランニングもしているのですが、
動くようになったからか食べる量が増え、
なんとダイエット前よりも体重が増えています。
筋肉がついた分重くなったのでしょう。そういうことにしておきましょう。
このダイエットには明確な目標がありまして。
達成できるようコツコツ頑張ります。


自己紹介はここまでとして、、
（趣味の事となるとついつい嬉しくなっちゃって長くなってしまいました。すみません。）


本題に入ります。


FlatMasterシリーズをお使いの方で、データが一部欠落している、や、
想定していた径よりも取得できた範囲が狭いのでは？
という経験がお有りの方がいらっしゃるのではないでしょうか。


データが欠落する原因はいくつかありますが
その中でも、「ローカルスロープリミット」についてお話します。


ローカルスロープリミット（以下LSL）とは、
ローカルスロープ=「局所勾配」のリミット=「上限」のことです。


1ピクセルに干渉縞が2本以上入ると計算ができなくなり、
そのピクセルはデータを出さなくなります。

1ピクセルに干渉縞1本でも問題があり、
2ピクセルで干渉縞1本が上限になります。

2ピクセルに1本の干渉縞が入るとは、、、を式で表すと

「 LSL＝ 縞感度 / pixel size(mm) × 1/2 」

となります。


これは横方向1mmに対して、縦方向○μm以上の勾配があると欠落しますよ。
の目安となります。


実際に例として計算してみます。


条件は以下と仮定します。

　・装置：FlatMaster100
  ・縞感度：4μm/fringe
　・測定サイズ：φ50mm
　・pixel size：0.14mm

この場合のLSLは
4μm / 0.14 × 1/2 となり、約14.2となります。

つまり、サンプル1mmに対して14.2μm以上の勾配があると
そのピクセルはデータを出せなくなります、ということになります。

これを縞感度を上げて8μmにしてみると倍になるので
約28.5μmまでの勾配までなら取得出来る可能性が出てきます。


データが欠落してしまったが全体の形状を知る必要がある、という場合は
いくつか方法がありまして、代表的なものとして、

　1. 縞感度をあげる（上記例）
　2. pixel sizeを小さくする

という手があります。
(* 勾配の程度やお使いの装置、サンプルサイズによって異なります）


LSLにより計算ができないピクセルがあった場合でも、
FlatMasterは取得できる範囲のデータを出力してくれるので、
合否判定の目安にもなりますね。


お客様のサンプルサイズ、スペックはどれくらいなのか等々によって、
装置やオプションの有無が変わってきます。
（それにも考えなければいけない要素はまだまだ沢山ありますが...）


ニーズをしっかり押さえ、適切なご提案ができるように日々精進致します。



今週はここまで。


最後までお読みいただきありがとうございました。


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M.O