◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇

FlatMasterのスゴさ！

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2014年3月5日号　VOL.001

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇



みなさん、こんにちは！

弊社で現在扱っているFlatMaster（以下FM）は、
アメリカのCorningTropel社が開発したもので、
弊社の売れ筋製品となっています。


現在まで、日本国内だけでも200台以上導入されていますが、
FMの特徴をいくつか挙げてみます。

・全面一括測定
　振動などの影響を受けにくいため誤差が乗らず、測定時間わずか30秒で
　約25万点のデータが取得可能。
・斜入射方式
　測定面に対して斜めからレーザー光を当てるので、反射率が高くなり、
　鏡面だけではなく研削、切削面の測定にも対応可能。
・機械部品から半導体まで測定可能。平置きの場合、サンプルを置くだけで
　面倒な調節は必要なく、簡単にセットアップが可能。

3つ挙げてみましたが、どれも導入していただいているお客様にとても
喜んでもらっている項目です。


また、FMで測定する前にはNISTで認定されている
キャリブレーションデバイスという校正原器を使って、
毎回装置の校正を行っていただいています。

これによって、

①いつでも簡単にお客様自身で装置校正が可能。
②万が一装置にトラブルがあった際、どの段階で問題が発生したのかを
　履歴を追うことで確認することが出来る。

②のケースですが、工程の中で万が一測定機に何らかのトラブルがあり、
それに気付かないまま測定し続けてしまった場合、
規格外のウェーハが出荷されてしまったり、反対に規格内に収まって
いるのに無駄になってしまったり、、、

そういった事態を未然に防ぐためにも、エンドユーザーへの保証として
毎回行うキャリブレーションは絶対必要なんです！


読みづらい部分もあったかと思いますが、
少しでもFMのスゴさを分かっていただければ嬉しいです！


FMは測定したいサンプルによって
Industrial、Wafer、Mask と3つにタイプが分かれます。
なので、もし何か測定したいものがある企業様はぜひご連絡ください！
弊社にお越しいただければ実機を見る事も出来るので、
お役に立てることがあるかもしれません！


最後まで読んで頂きありがとうございました！
私ももっと勉強して、より良い情報を提供していければと思いますので、
また次回、よろしくお願いします！


--
H.I