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2022.12.21

D-0189. FlatMasterシリーズ・よくあるご質問2 — E.N

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FlatMasterシリーズ・よくあるご質問2

発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2022年12月21日号 VOL.189

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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また年末です!あっという間です!!

私の娘も気が付けばもう3度目の年末年始
を体験しようとしています。早いですね。

12月は忙しいですが、クリスマス・お正月・ボーナスと
楽しみが多くワクワクします!!

今年はクリスマスイブ・クリスマスが
土日で、賑やかそうですね。

昨年は、娘が欲しいものが分からず、
赤ちゃんのお世話人形をサンタさんに頼みました。

付属の哺乳瓶のみピックアップし、人形を放置、
一度もお世話されずに1年が経ちます。

この哺乳瓶で、ア〇パン〇ンの人形に
一生懸命ミルクをあげています。

今年は、おもちゃのチラシを一緒に見て本人に決めさせました。
もちろんア〇パン〇ンでした。

Merry Christmas!



本日はFlatMasterシリーズの良くあるご質問の
第2弾をご紹介したいと思います。


 Q1. 座標ごとの高さデータは出力できますか?

 A1. 出力できます。
   2種類あり、CSV形式かTriplets形式で出力可能です。


 Q2. 横分解能はどのくらいですか?
   (どのくらいの間隔でデータを取得していますか)
  
 A2. 最大で約500×500(=25万点)データ取得可能で、
   その間隔は各装置・各測定サイズにより異なります。

  - 例えば、FlatMaster200、SemiAutoWafer200、UltraSort-II200で
   φ200[mm]の領域をを測定するときは、
   横分解能≒200[mm]/500≒□400[μm]となります。
   φ100[mm]の場合は、横分解能≒100[mm]/500≒□200[μm]です。

  - FlatMaster MSP150では、ズーム機能が無いので、
   測定サイズによらず
   横分解能≒150[mm]/1000≒150[μm]です。


 Q3. アメリカ製の装置なので、ソフトウェアは全て英語ですか?

 A3. ソフトウェアは基本、英語でお使い頂いております。
      しかし、測定ボタンは『Measure』、
   校正ボタンは『Calibrate』、
      他には Save, Ready, Stop, PartSize, Thickness など、
   普段使う箇所は簡単な英語ばかりです。
      エラーが出たときや、レシピを作成したい時などは
   少し難易度が上がりますが、
      手順書は日本語版を弊社で作成し、
   納めておりますのでご安心ください。


 Q4. 消耗品はありますか?

 A4. 消耗品に該当するのは、レーザーです。
      多くの場合、半導体レーザーを使用しておりますので、
   寿命は5年~10年程です。
      その他の駆動部品やコンピュータ等は、
   家電と同じで古くなれば故障はございますが、
      光学系は普通にご使用いただければ
   20年以上の使用実績がございます。


本日はここまでです。

最後までお付き合いいただき
ありがとうございました。

また、1年間、育児日記にお付き合いいただき
ありがとうございました。

良いお年をお過ごしください。
皆様のご健勝とご多幸お祈り申し上げます。


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E.N

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