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FlatMasterシリーズ・よくあるご質問2

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2022年12月21日号　VOL.189

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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また年末です！あっという間です！！

私の娘も気が付けばもう3度目の年末年始
を体験しようとしています。早いですね。

12月は忙しいですが、クリスマス・お正月・ボーナスと
楽しみが多くワクワクします!!

今年はクリスマスイブ・クリスマスが
土日で、賑やかそうですね。

昨年は、娘が欲しいものが分からず、
赤ちゃんのお世話人形をサンタさんに頼みました。

付属の哺乳瓶のみピックアップし、人形を放置、
一度もお世話されずに1年が経ちます。

この哺乳瓶で、ア〇パン〇ンの人形に
一生懸命ミルクをあげています。

今年は、おもちゃのチラシを一緒に見て本人に決めさせました。
もちろんア〇パン〇ンでした。

Merry Christmas！



本日はFlatMasterシリーズの良くあるご質問の
第2弾をご紹介したいと思います。


　Q1. 座標ごとの高さデータは出力できますか？

　A1. 出力できます。
　　　2種類あり、CSV形式かTriplets形式で出力可能です。


　Q2. 横分解能はどのくらいですか？
　　　（どのくらいの間隔でデータを取得していますか)
  
　A2. 最大で約500×500(＝25万点)データ取得可能で、
　　　その間隔は各装置・各測定サイズにより異なります。

　　- 例えば、FlatMaster200、SemiAutoWafer200、UltraSort-II200で
　　　φ200[mm]の領域をを測定するときは、
　　　横分解能≒200[mm］/500≒□400[μm］となります。
　　　φ100[mm]の場合は、横分解能≒100[mm]/500≒□200[μm]です。

　　- FlatMaster MSP150では、ズーム機能が無いので、
　　　測定サイズによらず
　　　横分解能≒150[mm]/1000≒150[μm]です。


　Q3. アメリカ製の装置なので、ソフトウェアは全て英語ですか？

　A3. ソフトウェアは基本、英語でお使い頂いております。
      しかし、測定ボタンは『Measure』、
　　　校正ボタンは『Calibrate』、
      他には Save, Ready, Stop, PartSize, Thickness など、
　　　普段使う箇所は簡単な英語ばかりです。
      エラーが出たときや、レシピを作成したい時などは
　　　少し難易度が上がりますが、
      手順書は日本語版を弊社で作成し、
　　　納めておりますのでご安心ください。


　Q4. 消耗品はありますか？

　A4. 消耗品に該当するのは、レーザーです。
      多くの場合、半導体レーザーを使用しておりますので、
　　　寿命は5年～10年程です。
      その他の駆動部品やコンピュータ等は、
　　　家電と同じで古くなれば故障はございますが、
      光学系は普通にご使用いただければ
　　　20年以上の使用実績がございます。


本日はここまでです。

最後までお付き合いいただき
ありがとうございました。

また、1年間、育児日記にお付き合いいただき
ありがとうございました。

良いお年をお過ごしください。
皆様のご健勝とご多幸お祈り申し上げます。


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E.N