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2020.08.19

D-0163. FlatMasterが測定しているのは何か — YO

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FlatMasterが測定しているのは何か
 
発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術!」
2020年8月19日号 VOL.163
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
こんにちは。営業技術グループの落合です。

今日は、

FlatMasterはサンプルの平面度を測っているのではない。

ことについて、お話したいと思います。

ええっ、一体どういことですか!?
平面度測定機とホームページに書いてあるではないですか。
となるかと思います。

この夏の暑さで頭がおかしくなったのではありません。

いつもお客様に
「FlatMasterはレーザーの干渉を利用してサンプルの平面度を測定しています」
とご説明している事が、嘘なわけでもありません。

ここでは、
FlatMasterが、実際に直接測っているのは何か?
というお話です。

答えは、
空気層(*)の厚みムラを測っています、
です。
(*)空気層:プリズム面とサンプル面の間の空気層。
      ギャップとも呼んでいます。

なーんだ、そういうことか、
と思っていただけたかと思います。

FlatMasterでは、
プリズム面とサンプル面の間の光路長差から
干渉縞ができているので、得られるのは
空気層の厚みムラのデータです。
直接測っているのは、サンプルの平面度ではないのです。

でも、その全面データから、
基準面を出し、つまり最小二乗平面を出して、
サンプル各点の位置を算出して、平面度を算出しています。

最終的には、サンプルの平面度を出していますので、
FlatMasterはまぎれもなく平面度測定機です。

今日はここまで。

最後までお読みいただきありがとうございました。

--
Y.O

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