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解析ツリーの見方＜入門編＞
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」
2019年09月25日号　VOL.153
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
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こんにちは。営業技術グループの落合です。
 
弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、
役に立つ情報をお送りしています。
 
今回ご紹介するのは、
解析ツリーの見方です。
 
長年お使いのお客様の中には、
「ツリーの構成が何を意味しているのか、分からずに使っている。」
「測定はできているが、本当は設定内容を知りたい。」
という方もいらっしゃるのではないでしょうか。
 
今日はごくごく簡単なご説明しますので、
参考になれば幸いです。
 
最もシンプルな解析ツリーは、下記です。



▲TMS基本ツリー


▲UMS基本ツリー


青枠部：データ取込み（リージョン）
赤枠部：測定項目（マップ）
              
基本は、
データ取込み（リージョン）は1つだけ、そのあと、
測定項目（マップ）は必要な分だけ追加していきます。
（上の例では「Flatness」）
 
1回データ取込（＝つまり測定）を行い、
取得した平面度データから、いくつでも測定項目を出力できる
というわけです。
 
例として、Flatnessについて、
エッジ除外EE1mm、EE10mmの
2つのマップを追加した場合を示します。



▲TMSマップ2つ


▲UMSマップ2つ


測定条件を変えて結果を確認したい場合は、
並べて表示すると分かりやすいです。
（左：EE1mm、右：EE10ｍｍ）


▲TMS結果


▲UMS結果


なお、この時の解析設定についても確認しましょう。
1mmと10mmでのエッジ除外量の差を確認できます。


▲UMSエッジ除外設定


ツリーを追加できると、測定を何度も行うことなく、
1回の測定で複数条件の結果を比較することができます。
 
以上、簡単ですが
解析ツリーの見方についてご紹介しました。
 
多くの解析を行っている複雑なツリーも、
ベースは、「データ取込」と「測定項目」からできています。

最後までお読みいただきありがとうございました。

それでは、またお会いしましょう。

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Y.O