logo

logo

メールマガジン・新着情報一覧

  1. TOP
  2. メールマガジン・新着情報一覧
  3. D-0153. 解析ツリーの見方<入門編> — YO

2019.09.25

D-0153. 解析ツリーの見方<入門編> — YO

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
解析ツリーの見方<入門編>
 
発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術!」
2019年09月25日号 VOL.153
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
こんにちは。営業技術グループの落合です。
 
弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、
役に立つ情報をお送りしています。
 
今回ご紹介するのは、
解析ツリーの見方です。
 
長年お使いのお客様の中には、
「ツリーの構成が何を意味しているのか、分からずに使っている。」
「測定はできているが、本当は設定内容を知りたい。」
という方もいらっしゃるのではないでしょうか。
 
今日はごくごく簡単なご説明しますので、
参考になれば幸いです。
 
最もシンプルな解析ツリーは、下記です。


TMS基本ツリー
▲TMS基本ツリー

UMS基本ツリー
▲UMS基本ツリー


青枠部:データ取込み(リージョン)
赤枠部:測定項目(マップ)
              
基本は、
データ取込み(リージョン)は1つだけ、そのあと、
測定項目(マップ)は必要な分だけ追加していきます。
(上の例では「Flatness」)
 
1回データ取込(=つまり測定)を行い、
取得した平面度データから、いくつでも測定項目を出力できる
というわけです。
 
例として、Flatnessについて、
エッジ除外EE1mm、EE10mmの
2つのマップを追加した場合を示します。


TMSマップ2つ
▲TMSマップ2つ

UMSマップ2つ
▲UMSマップ2つ


測定条件を変えて結果を確認したい場合は、
並べて表示すると分かりやすいです。
(左:EE1mm、右:EE10mm)

TMS結果
▲TMS結果

UMS結果
▲UMS結果


なお、この時の解析設定についても確認しましょう。
1mmと10mmでのエッジ除外量の差を確認できます。

UMSエッジ除外設定
▲UMSエッジ除外設定


ツリーを追加できると、測定を何度も行うことなく、
1回の測定で複数条件の結果を比較することができます。
 
以上、簡単ですが
解析ツリーの見方についてご紹介しました。
 
多くの解析を行っている複雑なツリーも、
ベースは、「データ取込」と「測定項目」からできています。

最後までお読みいただきありがとうございました。

それでは、またお会いしましょう。

--
Y.O

一覧に戻る

お問い合わせ Contact

048-441-1133

お問合せフォーム