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「Cスライス」での平面度評価について

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2019年07月24日号　VOL.152

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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こんにちは。営業技術グループの落合です。


今回も、
弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、
役に立つ情報をお送りしたいと思います。


今回ご紹介するのは、
「Cスライス」での平面度評価です。

「Xスライス」「Yスライス」は既に
多くのお客様が使用されていると思います。



取得した平面度データを、
あるX方向、Y方向でスライスした断面図です。


一方、
FlatMasterシリーズでは、
任意の同心円位置でスライスした断面図も表示できます。
これが「Cスライス」です。




ここでは、
「Cスライス」が有効なケースを2つご紹介します。


(1)ウエハ
　特にグラインディング後のうねり形状を確かめたい場合、
　同心円の方向でスライスすることで、加工痕が見やすくなります。


(2)リング状の機械部品
　シールなどリング状のサンプルの場合、
　X方向、Y方向では端面のエッジ形状が良く見えます。

　しかし、X方向、Y方向のみでは、
　平面度情報としては少し物足りないです。
　　例えば、Φ100mm、幅5mmのリングですと、
　　Xスライスでは幅5mmの情報しか得られません。

　そこで、「Cスライス」です。
　同心円上での平面度を評価できます。
　Φ98mm、Φ97mm　等のまるまる一周を確かめられます。

　Cスライスでのレンジ（Max-Min値）
　そのものが有効な平面度値となり得ます。


以上、簡単ですが
「Cスライス」についてご紹介しました。

思い当たるサンプルを測られる際には、
ぜひご活用いただけますと幸いです。


弊社の平面度測定機では、
レーザー干渉計を使用した
「全面一括測定」を強みとしております。

全面のデータが取得できた上で、さらに
どの面について評価するか、どの情報を取り出すかで、
より有効な評価ができるかが変わります。

気になる評価方法がございましたら、
弊社エスオーエルへご相談ください。


最後までお読みいただきありがとうございました。

それでは、またお会いしましょう。


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Y.O