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コリメータレンズについて

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2018年3月28日号　VOL.140

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皆様こんにちは。営業技術グループの桑野です。


桜も開花し始め、週末はどこの公園もお花見で賑わっているようです。
私はこの時期は鼻が全く機能しないため、マスク無しでは外出すらままならない
状態です。
我が家にもクリーンルームが欲しいと思います。


さて、今回はFlatMasterのコリメータ―レンズについてお話したいと思います。


弊社が取り扱っている平面度測定機FlatMasterの据付にあたって、
コリメーション調整という作業があります。


コリメーターレンズとはその名の通り、コリメーション（平行に）するレンズです。
何をコリメーションするかというと、それはレーザー光です。


ではなぜコリメーションが必要になるのでしょうか。


コリメーターレンズに入射するまで、レーザー光は拡がりながら進んでいきます。
即ち、コリメーションされないと、参照平面に当たる波面は、ある曲率半径を持った
平行ではない波面となります。


FlatMasterの場合、サンプルは参照平面上にGapを200um程度あけてセットされます。
参照平面に当たる波面が平行でない場合、参照平面から離れた位置にサンプルが
セットされているため、サンプルに当たる波面は更に平行ではなくなります。

FlatMasterは、参照平面から返ってくる光とサンプル表面から返ってくる光の干渉を
利用しているため、これでは実際のサンプルの形状と異なった形状が出力されてしまいます。
Gapが大きくなると、その影響も大きくなります。


それを平行光にするのがコリメーション調整です。
物理的に光源とコリメータ―レンズまでの距離を変更し、平行光になるよう
装置立ち上げ時に必ず微調整を行っています。


コリメーション調整の他にも沢山の調整がありますが、今回はここまでです。


今月も最後までお読みいただきありがとうございました。
来月も宜しくお願い致します。


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桑野